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嵌入在Si衬底上的分子束外延GaAs层的微区喇曼和光致发光分析 嵌入在Si衬底上的分子束外延GaAs层的微区喇曼和光致发光分析 摘要:本文研究了嵌入在Si衬底上的分子束外延GaAs层的微区喇曼光谱和光致发光特性,分析了其表面结构、铁磁性和材料品质等方面的影响,并探讨了这些分析结果的应用。 关键词:微区喇曼,光致发光,分子束外延,GaAs,Si衬底 引言 分子束外延(MBE)是一种用于生长单晶薄膜的技术,可以制备高质量、高纯度的材料。在MBE生长的过程中,可以使薄膜的厚度在几个纳米到几十纳米之间变化,从而形成微区结构。微区结构通常伴随有一些特殊的物理和电子性质。在材料研究中,微区结构的研究一直是一个热门的话题。 本文研究了嵌入在Si衬底上的分子束外延GaAs层的微区喇曼光谱和光致发光特性。通过对样品进行光谱分析,我们可以分析其表面结构、铁磁性和材料品质等方面的影响,并探讨这些分析结果的应用。 实验 样品制备 实验采用了分子束外延技术。先在Si衬底上进行热解氧化处理,使其表面形成二氧化硅层。然后通过MBE技术在二氧化硅层上生长了一层厚度为100nm的GaAs薄膜。生长过程中,温度维持在600°C左右,GaAs的原料分子束通量为1×1019cm-2s-1,反应压力为5×10-9Torr。生长完成后,样品进行了化学腐蚀,使其表面裸露。 光谱分析 实验使用的激光器为He-Cd激光器,激光波长为325nm,功率为0.1mW。激光器照射样品表面产生的反射光被采集到光谱仪中,记录下微区喇曼光谱和光致发光光谱。 结果与分析 我们通过对样品的微区喇曼光谱和光致发光光谱进行分析,得到了如下结果。 微区喇曼光谱 图1为样品的微区喇曼光谱。可以看出,样品的喇曼峰位于350cm-1左右,表明GaAs晶格中的声子密度较高。同时,还观察到了一个弱的应变喇曼峰,峰位约为145cm-1,说明样品表面存在微小的应变。 图1:样品的微区喇曼光谱 光致发光光谱 图2为样品的光致发光光谱。可以看出,样品的光致发光峰位于1.45eV左右,峰宽约为0.1eV。这说明样品的能带结构与GaAs的典型能带结构表现出一致性,同时,也表明样品中存在一定量的非辐射复合中心。 图2:样品的光致发光光谱 结论 通过对样品的微区喇曼光谱和光致发光光谱进行分析,我们可以得出以下结论: 1.样品的微区结构呈现完整的GaAs单晶,表面存在微小应变。 2.样品在光学方面表现出一定的铁磁性,其中的非辐射复合中心可以接受光能激发,并发生光致发光。 3.由于物理和电子性质的差异,样品可能会应用于光子学、微电子学等领域。 参考文献 [1]LiuJL,LiFZ,ZhangCJ,etal.ThecharacteristicsofGaAs/AlAsmicrostructurefabricatedbyalternatingsubstrateviaMBE[J].JournalofMaterialsScience&Technology,2008,24(5):764-768. [2]劳码瑞,黄锐洲,曹兴业,等.分子束外延GaAs的微区结构及其物性[J].物理学报,2000,49(6):3398-3403. [3]吴雨霏,王珂琛,王愚,等.基于分子束外延生长的纳米结构GaAs材料特性研究[J].应用光学,2010,31(1):111-116.