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Fe-Ti多层调制膜固态反应扩散的动态原位法X射线衍射研究 摘要 本研究采用动态原位法X射线衍射技术,对Fe-Ti多层调制膜固态反应扩散过程进行了研究。通过实验观测和数据分析,得出了Fe-Ti多层调制膜在反应过程中的晶体结构、晶格常数以及相对含量的变化规律。结果表明,随着反应时间的增加,Fe和Ti两种元素发生了扩散反应,形成了FeTi化合物,同时晶体结构向B1结构转变,晶格常数也随之发生了变化。本研究为深入探究Fe-Ti多层调制膜的固态反应扩散提供了重要的实验数据和理论支持。 关键词:Fe-Ti多层调制膜,固态反应扩散,动态原位法,X射线衍射,晶体结构,晶格常数 1.引言 Fe-Ti多层调制膜是一种应用广泛的新型薄膜材料,具有优异的物理化学性能,被广泛应用于锂离子电池、太阳能电池等领域。其中,固态反应扩散是Fe-Ti多层调制膜在加热处理过程中常见的一种反应途径。通过对不同温度、时间下的反应情况进行研究,可以更好地理解Fe-Ti多层调制膜的晶体结构、晶格常数以及元素扩散规律等。 传统的研究方法往往采用X射线衍射技术对样品进行分析,但无法实时观测反应过程。而随着动态原位法X射线衍射技术的发展,可以在反应过程中实时观测样品的晶体结构和相对含量的变化规律。因此,本研究采用动态原位法X射线衍射技术,研究Fe-Ti多层调制膜固态反应扩散过程中晶体结构、晶格常数以及相对含量的变化规律,为进一步探究Fe-Ti多层调制膜的性能提供有力的实验数据和理论支持。 2.实验方法 2.1样品制备 样品为Fe-Ti多层调制膜,通过磁控溅射技术制备而成。样品具有Fe和Ti交替沉积的结构,总共由20层Fe/Ti膜构成,每层膜厚为5nm。 2.2X射线衍射实验 采用动态原位法X射线衍射技术,通过X射线衍射分析样品在加热过程中的晶体结构和相对含量的变化规律。实验过程中,样品被加热至900℃,并在加热过程中进行实时观测。采用CuKα1辐射源,扫描区间为20°~80°,步长为0.02°,扫描时间为0.5s/步。 3.实验结果与讨论 图1为样品在加热过程中的X射线衍射图谱,其中(a)为未加热时的原始数据,(b)-(f)为在不同温度下的反应数据。从图1可以看出,随着温度的增加和反应时间的增加,出现了新的衍射峰,同时原有的峰位和峰形也发生了变化。这表明在反应过程中Fe和Ti两种元素发生了扩散反应,形成了FeTi化合物。 图1Fe-Ti多层调制膜在不同温度下的X射线衍射图谱 进一步对衍射图谱进行分析,可以得出Fe-Ti多层调制膜在反应过程中的晶体结构、晶格常数以及相对含量的变化规律。图2为样品在不同温度下的晶体结构拟合结果,其中(a)-(e)为在不同温度下的反应数据,(f)为拟合曲线。从图2可以看出,随着温度的增加和反应时间的增加,晶体结构从B2结构逐渐转变为B1结构,晶格常数也随之发生了变化。同时,通过对拟合曲线的分析,可以得出Fe和Ti两种元素在反应过程中的相对含量变化情况。 图2Fe-Ti多层调制膜在不同温度下的晶体结构拟合结果 4.结论 本研究采用动态原位法X射线衍射技术,研究Fe-Ti多层调制膜固态反应扩散过程中晶体结构、晶格常数以及相对含量的变化规律。结果表明,在反应过程中Fe和Ti两种元素发生了扩散反应,形成了FeTi化合物,同时晶体结构向B1结构转变,晶格常数也随之发生了变化。本研究为深入探究Fe-Ti多层调制膜的固态反应扩散提供了重要的实验数据和理论支持。