区熔硅单晶掺杂公式的探讨.docx
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区熔硅单晶掺杂公式的探讨.docx
区熔硅单晶掺杂公式的探讨熔硅单晶掺杂是半导体工业中的重要工艺步骤之一。通过对硅单晶进行掺杂,可以调控其导电性能,为半导体器件的制备提供基础材料。在研究和实践中,熔硅单晶掺杂公式的探讨一直是一个重要的课题。本文将对区熔硅单晶掺杂公式的探讨进行讨论和分析。随着半导体工业的发展,对于熔硅单晶的掺杂研究已经取得了很大的进展。目前,最常用的掺杂方法是通过在熔化的硅中加入特定的掺杂材料,使硅单晶中的杂质得以分布。常用的掺杂材料有磷、硼、砷等。这些掺杂材料的添加量和掺杂温度都会对硅单晶的导电性能产生影响,因此研究掺杂公
区熔硅单晶掺杂技术概述.docx
区熔硅单晶掺杂技术概述区熔硅单晶掺杂技术概述随着电子工业的不断发展,硅单晶作为电子材料的重要组成部分,对于电子行业的发展起到了重要的推动作用。硅单晶的电子性能及其优异的物理化学特性,使其在半导体制造、太阳能电池等领域具有广泛的应用前景。然而,单独的硅单晶材料的电子性能难以满足各种电子应用的要求,因此需要对硅单晶进行掺杂,以改变其电子性能,进而满足应用需求。本文通过对区熔硅单晶掺杂技术的概述及其发展历程的分析,以期能够深入了解该技术及其在电子行业中的应用。一、区熔硅单晶的概述区熔硅单晶是将晶体原材料放入熔融
一种掺杂区熔硅单晶的制备方法.pdf
一种掺杂区熔硅单晶的制备方法,它包括以下步骤(1)将多晶硅料磨锥、腐蚀、清洗、干燥;(2)将多晶硅料固定在磁控溅射仪空腔中,掺磷硅靶装好,抽真空至5*10-3Pa,然后通入氩气,腔内压强为1Pa,在两电极之间施加500Kv的高电压,电离出的氩离子不断轰击靶材,靶材中的磷和硅原子获得能量溅射出来,沉积到多晶硅表面,形成一层均匀致密的磷/硅薄膜,溅射经过30~90分钟后中止溅射,打开溅射腔将多晶硅旋转180°,重复上述步骤,继续溅射相同时间;(3)取出多晶硅料,放入区熔硅单晶炉中,将籽晶和多晶硅对中,抽真空,
气相掺杂区熔硅单晶及其生产技术.docx
气相掺杂区熔硅单晶及其生产技术气相掺杂区熔硅单晶是一种新型的单晶制备技术,它采用了氧、氮等气体的掺杂方式来促进单晶的形成和晶体质量的提高。该技术相较于传统的熔解法、悬浮法等,具有制备周期短、生产成本低等优点,在未来的半导体器件制造中有广泛的应用前景。本文将对于气相掺杂区熔硅单晶及其生产技术进行深入探讨。第一部分:气相掺杂区熔硅单晶的基本概念熔硅单晶是指将硅材料在炉内加热至熔化状态后,采用经典的静态拉晶法制备出来的单晶。获得高质量的硅单晶是半导体制造过程中不可或缺的一部分。气相掺杂区熔硅单晶技术是指在单晶生
一种气相掺杂区熔硅单晶的制备方法.pdf
本发明公开了一种气相掺杂区熔硅单晶的制备方法,包括以下步骤:(1)将一次多晶按正常的区熔拉晶工艺拉制成单晶或多晶;(2)将拉制成的单晶或多晶再次磨锥、刻槽、清洗、干燥;(3)将处理后的单晶或多晶装炉,并按目标电阻率设置掺杂流量,并按正常气相掺杂区熔拉晶工艺完成单晶拉制。根据本发明制备气相掺杂区熔硅单晶的方法,通过第一次的拉制,将硅芯内的杂质尽可能均匀的分布在拉制成的整个单晶或多晶内,而不是局限在硅芯内,从而降低因硅芯杂质搅拌不均匀造成的气相掺杂区熔硅单晶中心电阻率的波动,有效降低了单晶轴向及径向的电阻率不