制造薄膜电阻网络新工艺.docx
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制造薄膜电阻网络新工艺.docx
制造薄膜电阻网络新工艺制造薄膜电阻网络新工艺摘要:薄膜电阻网络是一种常用的电阻元件,在电子产品中有广泛的应用。然而传统的制造工艺存在一些问题,如成本高、精度低等。本论文介绍了一种新的制造薄膜电阻网络的工艺,旨在提高制造效率和降低制造成本。通过对工艺的改进和创新,可以实现更高的精度和稳定性。本研究对薄膜电阻网络的制造提供了一种新的思路,并具有一定的实用性和推广价值。关键词:薄膜电阻网络;制造工艺;成本;精度;稳定性引言:薄膜电阻网络是一种由多个电阻组成的网络,它可以在电子电路中起到分压和电流限制的作用。传统
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制造镍铬——铝薄膜电阻网络的一种新方法制造镍铬-铝薄膜电阻网络的一种新方法摘要:电阻网络在电子领域中扮演着重要角色,尤其在集成电路中起到关键作用。本论文提出了一种制造镍铬-铝薄膜电阻网络的新方法。通过先进的制造工艺和材料选择,实现了精确控制电阻值、提高网络性能。本方法不仅可以应用于集成电路的制造和研发中,也有潜力在其他电子领域中发展和应用。1.引言电阻网络是电子设备中不可或缺的组成部分,广泛应用于集成电路、传感器、电子元件等领域。传统的制造方法对于电阻网络的控制较为有限,且难以满足高性能和复杂电路的需求。
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薄膜电路中电阻与电容的制造研究薄膜电路中电阻与电容的制造研究摘要:薄膜电路在现代电子技术中具有重要地位,在各种电子设备和电子产品中广泛应用。其中,电阻与电容是构成薄膜电路的重要元件。本文通过探讨电阻与电容的基本原理、材料选择和制造工艺,以及相关的研究进展,旨在提供制造高性能薄膜电路的参考和指导。1.引言薄膜电路是一种将电子元件制作在薄膜上的技术,广泛应用于各种电子设备和电子产品中。电阻与电容作为薄膜电路中最常见的元件,对于实现电路的功能和性能起到至关重要的作用。因此,深入研究电阻与电容的制造技术,对于提高
一种薄膜电阻的制造方法.pdf
本发明公开了一种薄膜电阻的制造方法,包括以下步骤:步骤S01:提供一表面覆盖有绝缘层的衬底;步骤S02:在所述衬底上淀积薄膜电阻材料,并图形化薄膜电阻材料;步骤S03:在衬底和薄膜电阻材料上依次淀积金属电极材料、刻蚀停止层和硬掩膜;步骤S04:采用第一种干法刻蚀图形化硬掩膜,并去除光刻胶;步骤S05:采用第二种干法刻蚀继续图形化刻蚀停止层;步骤S06:采用湿法刻蚀继续图形化金属电极材料,形成薄膜电阻。本发明可以避免薄膜电阻的过刻蚀和金属电极的刻蚀残留问题,提高薄膜电阻的精度和可靠性。
一种片式薄膜电阻网络.pdf
本发明属于片式薄膜电阻技术领域,具体涉及一种片式薄膜电阻网络,包括陶瓷基片,所述陶瓷基片正面溅镀有电阻膜层,电阻膜层由激光划线切割成若干电阻个体,每个电阻个体表面设有两个正面电极,所述正面电极由下到上包括阻挡层、电极底层和电极表层,所述电阻个体表面位于正面电极之间的部分设有钝化层。本发明相比现有技术具有以下优点:通过溅射钨钛膜层作为阻挡层,能够保护作为正面电极的稳定性,杜绝硫化现象;加工过程条件可控,所得片式薄膜电阻网络的电阻个体的绝对精度达到±0.05%,且对温度系数达到±5×10