真空离子镀三轴匀速连转镀膜装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103361616A*(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103361616103361616A(43)申请公布日2013.10.23(21)申请号201210104658.8(22)申请日2012.04.11(71)申请人庞厚星地址116081辽宁省大连市沙河口区黄河路516-2-8-3(72)发明人庞厚星(74)专利代理机构大连科技专利代理有限责任公司21119代理人龙锋(51)Int.Cl.C23C14/50(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书2页说明书2页附图2页附图2页(54)发明名称真空离子镀三轴匀速连转镀膜装置(57)摘要本发明公开了一种真空离子镀三轴匀速连转镀膜装置，包括太阳轮、内侧行星轮、过渡行星轮、外侧行星轮、齿圈、齿圈限位杆、行星架和行星架固定装置。太阳轮安装在行星架的中心位置上，所述内侧行星轮、过渡行星轮和外侧行星轮各为等半径放射性排列在太阳轮和齿圈之间，齿圈限位杆固定于齿圈上，行星架通过行星架固定装置固定。本发明是一种真空离子镀三轴匀速连转镀膜装置，实现了三轴匀速连转（公转、自转、旋转）功能；真空离子镀三轴匀速连转便捷镀膜装置可任意安装在活动轴的轴向任意位置，数量不限；取消拨叉，无拨叉定位之必要；旋转工作盘安装被镀部件可同时上装或下挂亦可同时进行，简化安装、取下部件作业；充分利用有效空间，倍增自转轴数量。CN103361616ACN1036ACN103361616A权利要求书1/1页1.一种真空离子镀三轴匀速连转镀膜装置，其特征在于：包括太阳轮、内侧行星轮、过渡行星轮、外侧行星轮、齿圈、齿圈限位杆、行星架和行星架固定装置，太阳轮安装在行星架的中心位置上，所述内侧行星轮、过渡行星轮和外侧行星轮分别等半径放射性排列在太阳轮和齿圈之间，齿圈限位杆固定于齿圈上，行星架通过行星架固定装置固定。2.根据权利要求1所述的一种真空离子镀三轴匀速连转镀膜装置，其特征在于：所述齿圈限位杆相对于固定轴不动，齿圈、行星架相对于太阳轮差速旋转。3.根据权利要求1所述的一种真空离子镀三轴匀速连转镀膜装置，其特征在于：所述行星架上端设有上装装置定位孔。4.根据权利要求1所述的一种多弧离子镀三轴匀速连转镀膜装置，其特征在于：所述行星架下端设有下挂装置定位孔。5.根据权利要求3或4所述的一种真空离子镀三轴匀速连转镀膜装置，其特征在于：所述上装装置定位孔和下挂装置定位孔与内侧行星轮、过渡行星轮和外侧行星轮各共为一体。2CN103361616A说明书1/2页真空离子镀三轴匀速连转镀膜装置技术领域[0001]本发明涉及的是一种真空离子镀三轴匀速连转镀膜装置。背景技术[0002]目前，真空离子镀膜机的工作转盘有三轴：第1旋转轴为大旋转工作盘轴，第2旋转轴为活动转轴，第3旋转轴为旋转工作盘的被镀部件装置轴，其结构原理为减速马达带动大旋转工作盘轴，经过齿轮传动使活动转轴旋转，活动转轴上安装有旋转工作盘，旋转工作盘外圈有若干正菱形可安装被镀部件的旋转轴，正菱形可安装被镀部件的旋转轴在固定于固定轴拨叉14拨动下进行角位移（若旋转体为六方型则工作盘每旋转一周，旋转体转动60度，依次若为十二方则工作盘每旋转一周，旋转体旋转30度，以此类推）旋转到位即停止，等待下一次拨动。上述装置的弊端是正菱形可安装被镀部件的旋转轴不是连续转动而是间歇转动，不能保证被镀部件在任意时刻都能均匀地受到离子束的轰击（即只能实现匀速公转、匀速自转、不能实现匀速旋转），并且第3旋转轴只能位于旋转工作盘的等半径一圈。发明内容[0003]本发明的目的是提供一种可实现三轴匀速连转的真空离子镀三轴匀速连转镀膜装置。[0004]本发明为实现上述目的所采用的技术方案是：一种真空离子镀三轴匀速连转镀膜装置，包括太阳轮、内侧行星轮、过渡行星轮、外侧行星轮、齿圈、齿圈限位杆、行星架和行星架固定装置，太阳轮安装在行星架的中心位置上，所述内侧行星轮、过渡行星轮和外侧行星轮各为等半径放射性排列在太阳轮和齿圈之间，齿圈限位杆固定于齿圈上，行星架通过行星架固定装置固定。[0005]所述齿圈限位杆相对于固定轴不动，齿圈、行星架相对于太阳轮差速旋转。[0006]所述行星架上端设有上装装置定位孔。[0007]所述行星架下端设有下挂装置定位孔。[0008]所述上装装置定位孔和下挂装置定位孔与内侧行星轮、过渡行星轮和外侧行星轮各共为一体。[0009]本发明是一种真空离子镀三轴匀速连转镀膜装置，实现了三轴匀速连转（公转、自转、旋转）功能；三轴匀速连转便捷镀膜装置可任意安装在活动轴的轴向任意位置，数量不限；取消拨叉，无拨叉定位之必要；旋转工作盘安装被镀部件可同时上装或下挂亦可同时进行，简化安装、取下部件作业；充分利用有效空间，倍增自转轴数