一种片式电子元器件内电极的制备方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103395307A*(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103395307103395307A(43)申请公布日2013.11.20(21)申请号201310322790.0(51)Int.Cl.(22)申请日2013.07.29B41M1/12(2006.01)G03F7/00(2006.01)(71)申请人电子科技大学地址611731四川省成都市高新区（西区）西源大道2006号申请人东莞成电华瓷电子科技有限公司东莞电子科技大学电子信息工程研究院(72)发明人李元勋康建宏滕林沈健黄树峰张怀武(74)专利代理机构成都宏顺专利代理事务所(普通合伙)51227代理人李顺德王睿权权利要求书1页利要求书1页说明书3页说明书3页附图2页附图2页(54)发明名称一种片式电子元器件内电极的制备方法(57)摘要一种片式电子元器件内部电极的制备方法，主要包括：在暗室中，用负性感光导电金属浆料印刷初步内电极图形，然后在掩膜板作用下，将印刷的初步内电极图形按目标内电极图形要求要求曝光固化，再经过与负性感光导电金属浆料匹配的显影液显影，用溶剂清除精细电极图形之外的电极轮廓，保留已经固化的目标内电极图形，经干燥后完成内电极制备。本发明在采用传统丝网印刷工艺制作元器件内电极的基础上，利用负性感光导电金属浆料对特定波长光的敏感性，再通过曝光显影的方式，将目标内电极图形精细地刻画出来，以达到小尺寸电子元器件内部电极图形设计的要求，够制备出线宽精度更高的内电极，适用于英制0201、01005或更小尺寸元件内电极的制备。CN103395307ACN103957ACN103395307A权利要求书1/1页1.一种片式电子元器件内电极的制备方法，包括以下步骤：步骤1：表面清洁处理；对需要制备内电极的片式元器件陶瓷体或铁氧体膜片表面进行清洁处理，以保证需要制备内电极的片式元器件陶瓷体或铁氧体膜片的清洁度和平整度；步骤2：丝网印刷负性感光导电金属浆料；采用丝网印刷工艺，于暗室中将负性感光导电金属浆料印刷于需要制备内电极的片式元器件陶瓷体或铁氧体膜片表面，形成初步的内电极图形；步骤3；初步烘干；于暗室中将步骤2印刷成初步内电极图形的负性感光导电金属浆料初步烘干，烘干温度为60℃到90℃；步骤4：对位曝光；于暗室中将掩模板覆盖于步骤3初步烘干后的初步内电极图形上，并使得掩膜板内部透光区域准确对位于初步烘干后的初步内电极图形；然后通过高压汞灯、准分子激光器、X射线或电子束照射负感光导电金属浆料印刷的初步内电极图形，通过金属浆料内光固化体系的化学作用，使得形成目标内电极图形的负感光导电金属浆料曝光而固化；步骤5：显影；用负性感光导电金属浆料专用的显影液沉浸或喷射曝光固化后的内电极图形，使得曝光固化的目标内电极图形得以显影；步骤6：清除轮廓；用可溶解未曝光的负性感光导电金属浆料的溶剂冲洗整个内电极图形，并清除未曝光的负感光导电金属浆料，已达到清除目标内电极轮廓的目的；步骤7：再烘干；将步骤6清除目标内电极轮廓后的片式元器件陶瓷体或铁氧体膜片再次烘干，完成片式元器件内电极的制备。2.根据权利要求1所述的片式电子元器件内电极的制备方法，其特征在于，步骤1对需要制备内电极的片式元器件陶瓷体或铁氧体膜片表面进行清洁处理时，采用用高压气体吹除需要制备内电极的片式元器件陶瓷体或铁氧体膜片灰尘和杂质颗粒，以需要制备内电极的片式元器件陶瓷体或铁氧体膜片的清洁度和平整度。3.根据权利要求1所述的片式电子元器件内电极的制备方法，其特征在于，步骤2中所述负性感光导电金属浆料采用美国uninwell公司生产的BQ-6060型光敏导电银浆。4.根据权利要求1所述的片式电子元器件内电极的制备方法，其特征在于，步骤3初步烘干时，具体采用移动带式红外烘箱、高温光源辐射或热风对流循环方式进行。5.根据权利要求1所述的片式电子元器件内电极的制备方法，其特征在于，步骤4对位曝光时，采用CCD图像对位方式将掩膜板和初步烘干后的初步内电极图形精确对位。6.根据权利要求1所述的片式电子元器件内电极的制备方法，其特征在于，步骤4中所述掩膜板采用不透光的光绘膜或菲林制作。7.根据权利要求1所述的片式电子元器件内电极的制备方法，其特征在于，步骤5中所述显影液为二甲苯。2CN103395307A说明书1/3页一种片式电子元器件内电极的制备方法技术领域[0001]本发明属于电子元器件技术领域，涉及片式电子元器件的制备技术，特别涉及高精度片式电子元器件内电极的制备方法。背景技术[0002]广泛应用于笔记本电脑、电视、DVD、移动通讯终端等设备上的片式电子元器件，在制作过程中为使其具有特定功能及满足相关电磁性能的要求，常常需要在内部制作导电内电极。工业上运用最多的方