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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103590006103590006A(43)申请公布日2014.02.19(21)申请号201310632160.3(22)申请日2013.12.02(71)申请人上海沃家真空设备科技有限公司地址201600上海市松江区小昆山镇昆港公路888号4楼(72)发明人林锡强钟雷徐路陈伟郎文昌刘伟(74)专利代理机构上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙)31258代理人何葆芳(51)Int.Cl.C23C14/24(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书7页说明书7页附图6页附图6页(54)发明名称一种多功能真空镀膜机转架(57)摘要本发明公开了一种多功能真空镀膜机转架,其包括主架体部分、传动部分以及工件转动部分,所述主架体部分包括沿上下方向依次平行对置的顶板、上齿轮、下齿轮、支撑单元、外啮合齿和锁定部件,所述上齿轮与所述顶板之间通过多个连接杆连接;所述传动部分包括多个通过轴承与所述顶板及所述上齿轮连接的传动杆,所述下齿轮还设置有内啮合齿,每个所述传动杆延伸至所述上齿轮下方并设置有与所述内啮合齿相啮合的下传动齿轮。本发明不仅可实现工件的定点转动,而且可任意指定靶基距,并保证工件的行星转动和自转,还可实现大公转、行星转动和自转三种转动方式的单独或任意自由搭配使用,可满足真空镀膜机的多种使用目的。CN103590006ACN103596ACN103590006A权利要求书1/1页1.一种多功能真空镀膜机转架,包括主架体部分、传动部分以及工件转动部分,所述工件转动部分能够通过所述传动部分驱动而转动,其特征在于:所述主架体部分包括沿上下方向依次平行对置的顶板、上齿轮以及下齿轮,所述上齿轮和所述下齿轮通过支撑单元支撑,并且,所述上齿轮和所述下齿轮均具有用于通过驱动装置驱动从而使得所述上齿轮或下齿轮转动的外啮合齿,所述支撑单元上设置有用以选择性地锁定所述上齿轮或所述下齿轮的锁定部件,所述上齿轮与所述顶板之间通过多个连接杆连接;所述传动部分包括多个通过轴承与所述顶板及所述上齿轮连接的传动杆,所述下齿轮还设置有内啮合齿,每个所述传动杆延伸至所述上齿轮下方并设置有与所述内啮合齿相啮合的下传动齿轮。2.如权利要求1所述的多功能真空镀膜机转架,其特征在于:所述支撑单元的数量为三套,三套所述支撑单元沿所述上齿轮和所述下齿轮的圆周方向均匀分布。3.如权利要求1或2所述的多功能真空镀膜机转架,其特征在于:所述支撑单元包括竖直设置的主体部,所述主体部设置有两个分别朝向所述上齿轮下方与所述下齿轮下方延伸的延展部,位于所述上齿轮下方和所述下齿轮下方的所述延展部上均设置有支撑轴承。4.如权利要求1所述的多功能真空镀膜机转架,其特征在于:所述锁定部件为可移动地设置于所述主体部上的两个锁定杆,其中一个所述锁定杆可以通过移动卡入所述上齿轮的外啮合齿,另一个所述锁定杆可以通过移动卡入所述下齿轮的外啮合齿。5.如权利要求1所述的多功能真空镀膜机转架,其特征在于:在所述传动杆上位于所述顶板与所述上齿轮之间的位置间隔设置有两个悬臂,在位于所述两个悬臂之间的所述传动杆上设置有上传动齿轮;所述工件转动部分包括设置于所述两个悬臂的末端之间的支撑杆,在所述支撑杆上空套有与所述上传动齿轮啮合的从动齿轮,在所述支撑杆上位于所述从动齿轮上方的位置还空套有行星盘,在所述行星盘的下方设置有空套于所述支撑杆的太阳轮,在所述行星盘的周边通过轴承设置有多个与所述行星盘垂直的工件转轴,所述工件转轴的一端位于所述行星盘上方,用于安装所述工件,另一端延伸至所述行星盘下方并设置有与所述太阳轮啮合的行星轮;在所述从动齿轮与所述行星盘之间的位置设置有联动装置,所述联动装置选择性地连接所述从动齿轮与所述行星盘或者连接所述从动齿轮与所述太阳轮。6.如权利要求5所述的多功能真空镀膜机转架,其特征在于:所述联动装置的数量为三组,三组所述联动装置沿所述行星盘的圆周方向均匀分布。7.如权利要求5或6所述的多功能真空镀膜机转架,其特征在于:所述联动装置包括固定于所述从动齿轮上的基部,在所述基部上设置有可通过移动将所述从动齿轮与所述行星盘连接的第一销钉以及可通过移动将所述从动齿轮与所述太阳轮连接的第二销钉。8.如权利要求5所述的多功能真空镀膜机转架,其特征在于:每个所述悬臂均可转动地套装于所述传动杆上。2CN103590006A说明书1/7页一种多功能真空镀膜机转架技术领域[0001]本发明涉及一种多功能真空镀膜机转架,属于真空镀膜设备技术领域。背景技术[0002]真空镀膜机用于在真空中对工件镀膜,真空镀膜机包含构成于工件的加工腔体的真空室,真空室内设置有转架,该转架可以通过驱动装置驱动转动,从而实现工件的转动。[0003