一种真空镀膜机的转架.pdf
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一种真空电镀转架及真空镀膜机.pdf
本发明公开了一种真空电镀转架及真空镀膜机,真空电镀转架包括公转盘,公转盘可绕公转中心转动,公转盘绕公转中心呈圆形均匀分布有多根自转轴,每根自转轴上可转动的设置有自转盘,自转盘绕自转轴圆形均匀分布有多根卫星轴,每个卫星轴上均穿设有用于固定产品的爪盘,自转盘的底部固定有驱动齿轮,公转中心处固定有固定齿轮,固定齿轮与驱动齿轮啮合;镀膜时,驱动装置带动公转盘转动,自转盘跟随公转盘绕公转中心转动,同时驱动齿轮与固定齿轮啮合转动,带动自转盘、卫星轴及爪盘绕自转轴转动。提升了真空电镀转架中的产品的装载量和生产效率,节约
一种真空镀膜机的转架.pdf
本发明公开了一种真空镀膜机的转架,包括基板、圆管、转轴,所述转轴贯穿在圆管中,且转轴与圆管固定连接,所述转轴的两端与基板铰接,所述转轴上还是设有主动轮。本发明通过利用圆管代替现有的框架结构,不仅结构更加简单,生产效率高,而且强度更大;同时圆管具有完整的圆弧面,钢板覆盖在圆管表面的时候,由于钢板的所有表面均与圆管的外表面接触,使得在镀膜的时候,钢板的受热、受力、受电更加均匀,从而使得钢板的表面镀膜质量更好。
一种多功能真空镀膜机转架.pdf
本发明公开了一种多功能真空镀膜机转架,其包括主架体部分、传动部分以及工件转动部分,所述主架体部分包括沿上下方向依次平行对置的顶板、上齿轮、下齿轮、支撑单元、外啮合齿和锁定部件,所述上齿轮与所述顶板之间通过多个连接杆连接;所述传动部分包括多个通过轴承与所述顶板及所述上齿轮连接的传动杆,所述下齿轮还设置有内啮合齿,每个所述传动杆延伸至所述上齿轮下方并设置有与所述内啮合齿相啮合的下传动齿轮。本发明不仅可实现工件的定点转动,而且可任意指定靶基距,并保证工件的行星转动和自转,还可实现大公转、行星转动和自转三种转动方
一种真空镀膜机真空室内基片架传送装置.pdf
本发明公开了一种真空镀膜机真空室内基片架传送装置,包括传输机构和平移机构,传输机构包括多根穿过真空室两侧侧板的传动杆,传动杆的两端分别安装在两块安装板上,在真空室外的传动杆外套有波纹管,传动杆一端的末端安装有同步带轮,相邻两根传动杆上的同步带轮安装位置相对,两块安装板上的马达通过同步带与同侧的传动杆上的同步带轮连接,在真空室内的传动杆上装有摩擦轮,相邻两根传动杆上的摩擦轮交错排布,平移机构包括平移马达、丝杠、丝杠螺母、平移导向装置,平移马达通过同步带与丝杠连接,丝杠螺母通过连接杆与安装板连接。本发明实现了
一种高真空多弧离子镀膜机的工具镀膜转架装置.pdf
本发明公开的一种高真空多弧离子镀膜机的工具镀膜转架装置,包括上下相对设置的下转盘和上转盘,下转盘的边缘位置设置有一圈中心对称的U型通孔,沿U型通孔垂直方向设置有下轴承,下轴承上连接下传动轴,每个下传动轴下端嵌套有小齿轮,小齿轮啮合在位于下转盘下方中心位置的大齿轮上;下传动轴上连接有嵌套设置在工件转盘上的上传动轴,工件转盘上设置有工件座,工件座下面设置有若干个均匀分布的自转齿轮,上转盘和下转盘之间固定有一圈均匀分布的支撑柱,支撑柱位于下传动轴或上传动轴的内侧,每个支撑柱上还设置有拨杆架,拨杆架一端与自转齿轮