用于真空电子太赫兹器件的微型热阴极电子束源研究.docx
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用于真空电子太赫兹器件的微型热阴极电子束源研究随着太赫兹技术的发展和应用需求的不断增加,对太赫兹器件的研究和发展越来越引起人们的关注。微型热阴极电子束源作为太赫兹器件中关键部件之一,其性能和稳定性对整个器件的性能和稳定性都有着至关重要的作用。本文旨在探讨微型热阴极电子束源在真空电子太赫兹器件中的应用及相关研究进展。一、太赫兹电子器件简介太赫兹电子器件是指工作频率在0.1~10THz之间的电子器件,除了包括扫描电镜、电子显微镜和电子探针等经典电子器件外,还应包括太赫兹电子源、太赫兹电偶极子、太赫兹激光器、太
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