用于真空电子太赫兹器件的微型热阴极电子束源研究.pdf

物理学报．．．．用于真空电子太赫兹器件的微型热阴极电子束源研究冰梁文龙王亦曼刘伟李洪义王金淑十北京工业大学材料科学与工程学院教育部功能材料重点实验室北京年月日收到；年月日收到修改稿太赫兹波辐射源是太赫兹波技术的关键．真空电子太赫兹器件在高频、大功率太赫兹源发展中较其他技术有明显的优势微米尺度高电流密度微型电子束源则是研制真空电子太赫兹器件的核心之一．本文在研制低温、大电流纳米粒子氧化钪掺杂含钪扩散阴极—的基础上采用发射抑制膜沉积与聚焦离子束刻蚀技术研制无需压缩直接提供高电流密度的微型电子束的电子源．所研究的电子束源直径在工作温度。提供空间电荷限制电流密度／时已稳定工作以上并且层流性良好．本文阐述了阴极制备工艺、电子发射特性、微米尺度电子束源的获得和特性介绍了发射抑制膜的结构和抑制特性的评估．并探讨了镀膜和刻蚀对发射的影响机理．这一电子束源在常规毫米尺度电子源的基础上产生微米尺度的微区高电流密度的电子束为真空电子太赫兹辐射源的研制提供了新的途径．关键词：太赫兹辐射源钪酸盐阴极电子束表面分析：．．．．．．一．．：．／．．明显的优势．利用电子束激发的太赫兹器件如太引言赫兹返波管、回旋管、行波放大器等已列入诸如美国的高频集成真空电子技术规划太赫兹波指频率处在．一电子技术规划及欧洲的光驱动的电磁波位于电子学研究领域的微波和光学研放大器件计划具有光明的发展究领域的红外波之问具有二者没有的一些优异性前景质．利用太赫兹波的成像和光谱技术比传统方法有在真空电子太赫兹器件的研究中电子束源是很大的优势．在物