大行程柔性铰链Hexapod机构参数优化设计.docx
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大行程柔性铰链Hexapod机构参数优化设计.docx
大行程柔性铰链Hexapod机构参数优化设计摘要:大行程柔性铰链Hexapod机构是一种应用广泛的机构。本文主要介绍了大行程柔性铰链Hexapod机构的结构特点和工作原理。在此基础上,本文进一步进行了参数优化设计,包括对柔性铰链长度、倾角、连接点位置和杆件截面积等参数进行优化。最后,通过实验验证了本文参数优化设计的正确性和可行性。关键词:大行程柔性铰链Hexapod机构;参数优化设计;柔性铰链长度;倾角;连接点位置;杆件截面积。引言:大行程柔性铰链Hexapod机构是一种应用广泛的机构,其具有平稳运动、精
大行程柔性铰链参数优化设计.doc
光学系统在光学显微镜、半导体生产和空间探测等超精密工程领域中得到了广泛的应用[1]。为了保证光路的准确性,光学元器件不但需要有很高的面形精度,而且需要精密的定位系统。以大口径空间望远镜的子镜拼接为例,在戈达德太空飞行中心研制的太空球面光学望远镜主镜[2](SPOT)直径3.5m,由6个对角线长0.86m的六角形子镜环状排列组成,中心无镜面。每个子镜都有倾斜、翻转和移动的自由度,SPOT对每个子镜的定位精度提出了很高的要求:镜面法向移动范围目标值±5mm、最小值±1mm,镜面法向移动分辨率目标值<10nm、
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