多层膜的量产方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CN104651798A(43)申请公布日(43)申请公布日2015.05.27(21)申请号201510081055.4(22)申请日2015.02.15(71)申请人凌嘉科技股份有限公司地址中国台湾台中市(72)发明人王楠华沈定宇纪仁捷黄一原刘家玮赖佩君(74)专利代理机构北京泰吉知识产权代理有限公司11355代理人张雅军(51)Int.Cl.C23C14/56(2006.01)权利要求书2页说明书7页附图4页(54)发明名称多层膜的量产方法(57)摘要多层膜的量产方法包含：(a)提供具(n+1)个缓冲区间、n个镀膜区间及多个载具的镀膜生产线，缓冲区间与镀膜区间沿一排列方向轮流设于一真空腔体内；(b)于第一个缓冲区间载入置有第一个待镀物的第一个载具；(c)令第一个载具于第一个镀膜区间执行第一道镀膜程序时是于第一、二个缓冲区间间位移数次；(d)令第一个载具位于第二个缓冲区间且同时于第一个缓冲区间载入置有第二个待镀物的第二个载具；及(e)同时令第二个载具与第一个载具各于第一、二个镀膜区间执行第一道镀膜程序与第二道镀膜程序时，是各于第一、二个缓冲区间与第二、三个缓冲区间间位移数次。借所述载具同时进入各镀膜区间内提高镀膜生产效率。CN104651798ACN104651798A权利要求书1/2页1.一种多层膜的量产方法，是用以将多个待镀物进行多道镀膜程序，其特征在于：其包含以下步骤：一步骤(a)，提供一具有(n+1)个缓冲区间、n个镀膜区间与多个载具的镀膜生产线，所述缓冲区间与所述镀膜区间是沿一排列方向依序轮流设置于一真空腔体内，n≧2且是正整数；一步骤(b)，于该镀膜生产线的第一个缓冲区间或第二个缓冲区间载入放置有第一个待镀物的第一个载具；一步骤(c)，于该步骤(b)后，令第一个载具于第一个镀膜区间执行第一道镀膜程序以于第一个待镀物上形成一第一膜层时，是于该第一个缓冲区间及第二个缓冲区间两者间位移至少一次；一步骤(d)，于该步骤(c)后，令第一个载具位于第二个缓冲区间或第三个缓冲区间，且同时于该镀膜生产线的第一个缓冲区间或第二个缓冲区间载入放置有第二个待镀物的第二个载具，但有条件的是，当第二个载具位于第二个缓冲区间时，第一个载具是位于第三个缓冲区间；及一步骤(e)，于该步骤(d)后，同时令第二个载具与第一个载具分别于第一个镀膜区间与第二个镀膜区间内执行第一道镀膜程序与第二道镀膜程序，以分别于第二个待镀物上与第一个待镀物上形成该第一膜层与一第二膜层时，是同时分别于第一个缓冲区间及第二个缓冲区间两者间与第二个缓冲区间及第三个缓冲区间两者间位移至少一次，但有条件的是，当第二个载具位于第二个缓冲区间时，第一个载具是位于第三个缓冲区间。2.根据权利要求1所述的多层膜的量产方法，其特征在于：该多层膜的量产方法还包含一步骤(f)及一步骤(g)，且n＝3，该步骤(f)，于该步骤(e)后，令第一个载具位于第三个缓冲区间或第四个缓冲区间，且同时令第二个载具位于第二个缓冲区间或第三个缓冲区间，并同时于该镀膜生产线的第一个缓冲区间或第二个缓冲区间载入放置有第三个待镀物的第三个载具，但有条件的是，当第三个载具位于第二个缓冲区间时，第二个载具是位于第三个缓冲区间，且第一个载具是位于第四个缓冲区间；及该步骤(g)，于该步骤(f)后，同时令第三个载具、第二个载具与第一个载具分别于第一个镀膜区间、第二个镀膜区间与第三个镀膜区间内执行第一道镀膜程序、第二道镀膜程序与第三道镀膜程序，以分别于第三个待镀物上、第二个待镀物上与第一个待镀物上形成该第一膜层、该第二膜层与一第三膜层时，是同时分别于第一个缓冲区间及第二个缓冲区间两者间、第二个缓冲区间及第三个缓冲区间两者间与第三个缓冲区间及第四个缓冲区间两者间位移至少一次，但有条件的是，当第三个载具位于第二个缓冲区间时，第二个载具是位于第三个缓冲区间且第一个载具是位于第四个缓冲区间。3.根据权利要求2所述的多层膜的量产方法，其特征在于：该步骤(b)是于该镀膜生产线的第一个缓冲区间载入放置有第一个待镀物的第一个载具；该步骤(d)是令第一个载具位于第二个缓冲区间，且同时于该镀膜生产线的第一个缓冲区间载入放置有第二个待镀物的第二个载具。4.根据权利要求3所述的多层膜的量产方法，其特征在于：该步骤(f)是令第一个载具位于第三个缓冲区间，且同时令第二个载具位于第二个缓冲区间，并同时于该镀膜生产2CN104651798A权利要求书2/2页线的第一个缓冲区间载入放置有第三个待镀物的第三个载具。5.根据权利要求1所述的多层膜的量产方法，其特征在于：该步骤(e)的第二个载具与第一个载具分别于第一个镀膜区间与第二个镀膜区间内执行第一道镀膜程序与第二道镀膜程