3D堆叠封装硅通孔结构的电-热-结构耦合分析.docx
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3D堆叠封装硅通孔结构的电-热-结构耦合分析电-热-结构耦合分析在现代电子封装领域中扮演着重要的角色。随着封装技术的发展和电子器件的不断集成,对于堆叠封装硅通孔结构的电-热-结构耦合分析的需求也越来越高。本文将介绍电-热-结构耦合分析的基本原理、堆叠封装硅通孔结构的设计和分析方法,以及分析结果对封装结构的优化和改进的意义。1.引言堆叠封装技术是一种将多个封装芯片层次性地叠放在一起的技术,可以在有限的空间内增加封装芯片的数量和功能。堆叠封装硅通孔结构是一种常见的封装结构,其内部通过硅基介质和金属填充物来实现
基于复合介质层材料的硅通孔热结构耦合分析.docx
基于复合介质层材料的硅通孔热结构耦合分析基于复合介质层材料的硅通孔热结构耦合分析摘要复合介质层材料广泛应用于微电子封装领域,其中硅通孔是一种常见的封装元件。本文基于复合介质层材料的硅通孔,对其热结构耦合问题进行了分析和研究。首先介绍了硅通孔的结构和应用范围,随后讨论了复合介质层材料的特性以及热结构耦合的原理。接下来,通过数值模拟方法,对硅通孔在不同温度下的热变形行为进行了研究。最后,通过对比实验结果和模拟结果,验证了模拟方法的准确性,并总结了研究结果和对未来研究方向的展望。关键词:复合介质层、硅通孔、热结
硅通孔布局结构、硅通孔互联结构的形成方法.pdf
一种硅通孔布局结构、硅通孔互联结构的形成方法,其中,硅通孔互联结构的形成方法包括:提供半导体衬底,所述半导体衬底具有第一区域和第二区域;刻蚀第一区域和第二区域的半导体衬底,在第一区域和第二区域的半导体衬底中形成若干分立的通孔,第一区域的通孔密度大于通孔的平均密度,且所述通孔的平均密度小于等于2%;在所述半导体衬底上形成金属层,金属层填充满所述通孔;采用化学机械研磨工艺平坦化所述金属层,形成硅通孔互联结构。通过优化第一区域的通孔密度与半导体衬底上通孔的平均密度的关系,防止研磨后的表面金属的残留。
基于电-热-结构耦合模型的硅通孔热力瞬态响应.docx
基于电-热-结构耦合模型的硅通孔热力瞬态响应基于电-热-结构耦合模型的硅通孔热力瞬态响应摘要:本文通过建立一个电-热-结构耦合模型,研究了硅通孔在热力载荷下的瞬态响应。首先,介绍了硅通孔的背景和重要性。然后,详细阐述了电-热-结构耦合模型的建立过程。接着,对模型进行了数值仿真,并得出了一些关键结果。最后,对结果进行了讨论,并提出了未来的研究方向。1.引言硅通孔是一种用于集成电路(IC)封装和散热的重要结构。在实际应用中,硅通孔在工作时会受到电热载荷的作用,导致热力瞬态响应。因此,研究硅通孔的热力响应对于提
倒装芯片堆叠封装结构.pdf
本发明公开了一种倒装芯片堆叠封装结构,包括堆叠封装体(1)和顶层封装体(2);堆叠封装体包括底层基板(101)、第一金属球(102)、第一芯片(103)、第一封装体(104)和第二金属球(105);第一芯片的底部通过若干个第一金属球电性连接在底层基板上,多层第一芯片依次由下至上堆叠设置;若干个第二金属球分布在多层第一芯片的四周,多层第一芯片及其第一金属球和若干个第二金属球通过第一封装体封装在底层基板的上表面上;顶层封装体叠设在第一封装体上,顶层封装体通过若干个第二金属球与底层基板电性连接。本发明能解决现有