一种伺服阀芯气相沉积加工旋转机构.pdf

本发明公开了一种伺服阀芯气相沉积加工旋转机构，包括大齿轮、小齿轮、轴承、阀芯杆状托盘、托盘上盖、双头螺栓、螺母、底座、旋转力输入轴、变速箱等部件。本发明结构简单、可靠，可以一次对多个伺服阀芯进行气相沉积加工。

2023-10-12

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一种气流旋转均匀的气相沉积装置.pdf

本发明公开了一种气流旋转均匀的气相沉积装置，包括用于进行气相沉积的反应釜以及与反应釜连通的进气通道和排气通道；反应釜内设有沉积室，沉积室的空腔是与反应釜同轴的圆柱体，沉积室与反应釜的壁之间依次设有发热体和炉胆保温层，沉积室内设有料盘，料盘通过料盘支撑柱连接在沉积室的底部；排气通道设在沉积室的顶部；料盘上均匀设有通气孔；进气通道包括奇数管道，每路管道包括进气口和进气管，进气口设置在反应釜的底部，进气口围绕着反应釜底面圆心呈对称分布，进气管在水平方向上与反应釜水平横截面呈10‑20°，进气管在竖直方向上呈40

2023-06-16

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粉末旋转化学气相沉积装置.pdf

本发明公开了一种粉末旋转化学气相沉积装置，包括支架以及固定在支架上的炉管，炉管外环绕有主电炉，炉管两端分别连接有原料气进气装置、载流气进气装置和废气处理装置，炉管内设置有活动转轴，转轴上固定有圆柱形的反应腔，反应腔设有从内壁面往轴心侧延伸的多个搅拌刀片用于搅拌粉末基底，转轴内设有多个热电偶；本发明的反应腔在镀膜过程中保持旋转，并且通过搅拌刀片带动粉体原料连续翻动，不仅保证粉体表面镀膜均匀，而且可以通过控制旋转周期等工艺参数控制镀膜厚度，可实现在任意尺寸粉体表面的镀膜，而且适用于包括金属、非金属和陶瓷粉体在

2023-06-19

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主动旋转阀气相能量分配的研究.docx

主动旋转阀气相能量分配的研究主动旋转阀气相能量分配的研究摘要：在这篇论文中，我们将研究主动旋转阀在气相能量分配方面的应用。主动旋转阀是一种用于分配气体能量的精确控制装置，可以通过调整流体的流动路径来改变能量分配。本研究将介绍主动旋转阀的工作原理、结构特点，并探讨其在能量分配中的应用。实验结果表明，主动旋转阀可以提供更精确的能量分配控制，并具有较高的能量利用效率。这项研究为实现气相能量优化分配提供了新的方法和思路。关键词：主动旋转阀；气相能量分配；能量利用效率；控制装置1.引言能量分配是许多工业和科学领域中

2024-10-27

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晶圆旋转装置及化学气相沉积设备.pdf

本发明公开了一种晶圆旋转装置及化学气相沉积设备,所述包括静电吸盘、反应腔体、晶圆支撑架，所述静电吸盘通过三个提升销与晶圆支撑架连接，静电吸盘依据静电原理吸引晶圆片；所述反应腔体左侧接入反应气体管道并配有压力计，底部连接尾气管路，配有压力计，并通过节流阀连接于涡轮泵上；所述反应腔体顶部连接远程等离子体源，中间为清洁气体管路，清洁气体管路穿过陶瓷钟罩，且尾部接有喷头；所述晶圆支撑架底部与反应腔体密封连接。本发明在于不仅可以对晶圆进行升降动作，还可以通过驱动马达来对晶圆进行旋转作业，通过旋转晶圆来达到改善工艺均

2023-05-30

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