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白光EFPI传感系统解调机理的研究综述报告 白光EFPI传感系统是一种基于光干涉的传感技术,可以用于测量物理量如应力、温度、压力等。传感器结构由光纤光束分束器和Fabry-Perot干涉仪(EFPI)构成,通过记录光学路径长度的改变来测量被测量物理量的变化。传感器的解调需要通过光学信号分析,这是一个关键步骤。 EFPI解调机理的研究早在20世纪80年代起就已经开始。传统的方法是利用扫描电镜或白光干涉仪来记录干涉仪反射率的变化。后来,微机电系统技术的发展使得EFPI传感器的解调变得更加便捷和高效。现在的EFPI解调技术主要有两种:时间域分析和频域分析。 时间域分析是一种干涉仪信号处理的常见方法。它通过将干涉信号和参考信号进行比较来得到被测量量的变化。干涉仪会采集到两条光线之间的相位差,而参考信号是一个恒定的光源,因此通过比较这两个信号,可以得到光程差的运动。光程差与被测量量之间的关系可以通过校准得到。 时间域方法是一种传统方法,不需要复杂的仪器和高精度的仪器的连接和控制。但是,其信号处理过程比较复杂,并且容易受到环境噪声的影响。 频域分析则是一种基于FFT(快速傅里叶变换)的解调技术。频域分析利用FFT将干涉信号转换为频域信号,以测量光程差的变化。FFT转换可以提供更高的分辨率和更高的信噪比,可以更好地减少环境噪声对信号的影响。然而,频域方法需要对光源频率和干涉长度进行精确的校准,同时系统的复杂性较高,解调过程需要更多的处理时间和计算资源。 为了克服时间域和频域解调方法的局限性,一些新的解调技术被提出,例如相位转移函数和超声振荡。 总的来说,EFPI传感系统的解调技术是其整个传感器系统中至关重要的一步。时间域和频域解调方法均具有自己的优势和局限性,而在特定应用场景下的选择需要根据具体的使用情况进行评估。在未来,我们可以期待基于深度学习和机器视觉等新技术的新型解调方法的出现,以进一步提高EFPI传感器的性能和应用范围。