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PZT厚膜的电射流沉积研究
引言
厚膜电极材料是当今电子器件技术中广泛使用的一种材料。高压ZT（PbZrTiO3，简称PZT）是一种优良的铁电材料，具有优秀的压电、铁电、弹性、热稳定性和高介电常数等特性，因此在多种应用中被广泛使用。然而，PZT的电性能受其厚度等因素的影响较大。本研究旨在探讨PZT厚膜的电射流沉积特性，并根据实验结果分析影响PZT厚膜电极性能的原因。
实验设计
实验中使用的样品为PZT陶瓷气体传感器。将PZT厚膜电极材料沉积在传感器的金属基底上，然后对薄膜电极进行热处理和电极化处理，使之形成铁电相。最后，测量厚膜电极的电性能（电容、电阻、电压等）。
实验结果
通过实验得到的数据表明，在不同厚度下，PZT薄膜的电容和电阻表现出不同的特性。随着厚度的增加，电容和电阻都逐渐增加，并且呈现出相同的趋势，即成正比例关系。
同时，在不同的压力下，PZT电极材料的电容和电阻呈现不同的趋势。随着压力的增加，电容逐渐增加，但电阻逐渐降低。
讨论
实验结果表明，PZT厚膜电极材料的电性能受到其厚度和压力的影响。随着厚度的增加，电容和电阻都会增加，这是由于良好的电介质性质，导致薄膜的电容性能得到提高。但是，电极材料的电阻也会随之增高，这是由于薄膜电极面积的变小所引起的电路电阻变大的结果。
另外，在不同压力下，电容和电阻的变化趋势也不同。这可能是由于压力使得层间距缩短，从而影响了薄膜的电容性能、导电性能等多种电性质。
结论
本研究揭示了PZT厚膜电极材料的电性能受厚度和压力的影响，电性能会随着厚度和压力的增加而有所改变。进一步的探讨和改进将有助于优化PZT厚膜电极材料的性能，为其在各种应用中的更好应用奠定更好的基础。