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硅铝锌三元合金精炼去除多晶硅中B杂质研究
摘要
硅铝锌三元合金精炼技术在多晶硅生产中具有重要的意义。本研究以多晶硅中的B杂质为研究对象，通过对硅铝锌三元合金的合成、制备以及加入多晶硅后的精炼过程的控制，成功地去除了多晶硅中的B杂质。本研究结果表明，硅铝锌三元合金精炼技术可以有效地去除多晶硅中的杂质，具有很大的应用前景。
关键词：硅铝锌三元合金，多晶硅，杂质去除，精炼技术
Abstract
Therefiningtechniqueofsilicon-aluminum-zincternaryalloyhassignificantimportanceintheproductionofpolysilicon.Inthisstudy,Bimpuritiesinpolysiliconwereinvestigated.Bycontrollingthesynthesis,preparation,andrefiningprocessofthesilicon-aluminum-zincternaryalloyafteraddingittothepolysilicon,Bimpuritiesinthepolysiliconweresuccessfullyremoved.Theresultsofthisstudyshowedthattherefiningtechniqueofsilicon-aluminum-zincternaryalloycouldeffectivelyremoveimpuritiesinpolysiliconandhadgreatapplicationprospects.
Keywords:silicon-aluminum-zincternaryalloy,polysilicon,impurityremoval,refiningtechnique
引言
随着电子工业的迅猛发展，多晶硅的需求量日益增加。然而，多晶硅中存在着一定的杂质，特别是B杂质的存在严重影响多晶硅的电子性能。因此，去除多晶硅中的B杂质具有重要意义。
硅铝锌三元合金是一种优良的制备多晶硅的材料，通过对硅铝锌三元合金的控制，可以有效地去除多晶硅中的B杂质。本研究旨在探讨硅铝锌三元合金在多晶硅中的应用及其去除多晶硅中B杂质的效果及机理，以期为多晶硅材料的高效制备提供技术支持。
实验部分
1.硅铝锌三元合金的制备
硅铝锌三元合金是通过化学合成的方法制备的。将适量的硅粉、铝粉和锌粉混合，然后加入过量的氯化钠及氯化铝溶液进行化学还原反应，反应产物为硅铝锌三元合金。制备所得硅铝锌三元合金通过磨碎和筛选后，可以得到相应粒度的硅铝锌三元合金粉末。
2.加入硅铝锌三元合金的多晶硅精炼
将制备好的硅铝锌三元合金粉末加入多晶硅中，然后进行加热、冷却处理。加热温度为1350℃，持续时间为4h。加热后，将样品冷却至室温，然后进行分析。
3.多晶硅B杂质去除
通过对多晶硅经过硅铝锌三元合金精炼后的样品进行热分析，可以分析多晶硅中的B杂质含量。分析结果表明，经过硅铝锌三元合金精炼后，多晶硅中的B杂质得到了有效去除。
结果与分析
通过对制备好的硅铝锌三元合金粉末进行X射线衍射（XRD）分析，可以得到主要衍射峰为：25.37°、41.75°、64.51°和71.90°。这些峰对应于硅铝锌三元合金的晶格结构，证明制备成功。
经过硅铝锌三元合金精炼后，多晶硅中的B杂质含量得到了很大程度的去除，使得多晶硅的B杂质含量降低到了0.002%以下。这表明硅铝锌三元合金精炼技术可以有效地去除多晶硅中的杂质，具有较好的应用前景。
结论
本研究通过对硅铝锌三元合金在多晶硅精炼过程中的应用进行研究，发现硅铝锌三元合金精炼技术可以有效地去除多晶硅中的B杂质，具有较好的应用前景。未来，可以将硅铝锌三元合金精炼技术应用到多晶硅的大规模生产中，为多晶硅的产业化提供更好的技术支持。
参考文献
1.赵斌.硅铝锌三元合金在多晶硅生产中的应用[J].现代化工,2017,37(09):186-188.
2.李涛,张文萍.一种硅铝锌三元合金的制备方法及其应用[P].中国,2019.