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MOCVD衬底材料的选择用于氮化镓生长的衬底材料性能优劣比较氮化镓衬底氮化镓衬底生产技术和设备Al2O3衬底SiC衬底Si衬底Si衬底上生产GaN外延ZnO衬底外延工艺CVDCVD的优缺点CVD外延的生长过程CVD外延生长过程示意图立式钟罩型常压CVD卧式高频感应加热常压CVD卧式电阻加热低压CVD卧式等离子增强低压CVD立式平板型等离子增强CVD桶式CVDMOCVDMOCVD的优点MOCVD及相关设备技术发展现状MOCVD设备MOCVD设备的发展趋势ThomasSwan的MOCVD实物MOCVD参数MOCVD原理图国产MOCVDGaN外延片产业化生长法MOCVD法生长GaN的主要技术要求MOCVD法生长GaN存在的问题InGaAlP材料的外延制作GaInN外延的制作外延生长方法的改进PE(Pendeoepitaxy)法其它新型外延材料外延技术发展趋势谢谢大家!