镀膜基础知识讲义.ppt

镀膜基础知识讲义理論基礎
各类膜系
硬體系統
品質維護

一.光學薄膜理论基础
1.在膜層中，波的干涉結果，如R%、T%都是與膜質本身和兩邊界邊的折射率有關系，相位變化也是如此。
2.由于干涉作用造成的反射率有時升高，有時反而降低，都要視膜层的折射率高於或低於基板折射率而定。
若Nf>Ns，則反射率會提高(Ns为基底)
Nf<Ns，則反射率會降低
3.因此若要在鏡片上鍍上抗反射膜，薄膜的折射率就必須小於基板的折射率,且膜厚要在1/4波長的奇數倍，才會使反射達到最小。
干涉現象必須滿足3個條件才能發生:
1.振動頻率相等
2.振動方向一致
3.相位差恆定镀膜目的:
反射率的提高或透射率的降低
反射率的降低或透射率的提高
分光作用：中性分光、变色分光、偏极光分光
光谱带通、带止及长波通或短波通之滤光作用
相位改变
液晶显示功能之影显
色光显示、色光反射、伪钞及有价证券之防止
光波的引导、光开关及积体光路單層減反射膜AR-Coating輔正膜IR膜IR膜高反膜三.硬体系统離子源助鍍鍍膜機類型鍍膜機构造五大系統排氣系統泵浦及真空計圖控制系統鍍膜機控制柜鍍膜機控制界面蒸鍍系統蒸鍍圖片蒸鍍所用藥材監控系統監控控制系統示意圖膜厚系統控制界面1監控系統控制界面2監控系統的種類輔助系統輔助設備圖片鍍膜三要素保養的目的日常保養項目及周期定期保養項目及周期