真空溅射镀膜-讲义.pptx
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真空溅射镀膜-讲义.pptx
真空溅射镀膜溅射镀膜之必要制程可分三大项,即:真空排气(Pumping)气体导入(Gasintroducing)放电(Discharge)1.真空排气如一般之真空系统,可使用油扩散真空帮浦(Oildiffusionpump),涡轮分子真空帮浦(Turbomoleularpump)等高真空排气装置,配合油回转帮浦(Oilrotarypump),使溅镀室之真空度最少能达到10-6Torr或更好的程度,方可实施溅镀。一般依溅镀材料之不同,真空排气之要求,应特别注意溅镀室内可能残存气体种类及含量(或溅镀室内壁,在
真空溅射镀膜技术.ppt
真空溅射镀膜技术表面技术工程是将材料表面与基体一起作为一个系统进行设计,利用表面改性技术,薄膜技术和涂层技术,使材料表面获得材料本身没有而又希望具有的性能的系统工程。薄膜技术是表面工程三大技术之一。一般把小于25um大于100nm的膜层称为薄膜,大于25um的膜层称为厚膜。小于100nm的膜层称为纳米薄膜。真空镀膜是薄膜技术的最具潜力的手段,也是纳米技术的主要支撑技术。所谓纳米技术,如果离开了真空镀膜,它将会失去半壁江山。真空镀膜分为(蒸发镀膜)、(离子镀膜)、(溅射镀膜)和(化学气相沉积)四种形式,按功
辊轮溅射污染低的真空磁控溅射镀膜装置.pdf
本发明公开了一种辊轮溅射污染低的真空磁控溅射镀膜装置,设有溅射室、过渡室,其特征在于:所述溅射室、过渡室的腔体底板设有传送辊轮,所述溅射室在其与过渡室衔接的出口的腔体底板上设置有挡板,所述挡板位于传送滚轴的一侧。本发明通过挡板阻挡溅射粒子通过玻璃传送的间隙溅射到传送辊轴外圈上,降低了溅射粒子对辊轴外圈的污染,大大减少了玻璃在传送过程中因辊轴被溅射而发生划伤及位置偏移的情况,保证了生产的延续性,提高了产品的良品率。
真空磁控溅射镀膜设备用户手册.doc
真空磁控溅射镀膜设备顾客手册真空磁控溅射镀膜控制系统用户手册-07-09V1.1目录1.系统简述......................................................................................................................41.1真空系统.................................................................................
大型磁控溅射镀膜机的真空室结构.pdf
本发明公开了一种大型磁控溅射镀膜机的真空室结构,包括真空室体,所述真空室体为横向放置的圆筒状结构,其两端开口,在两端开口处焊接有法兰Ⅰ,法兰Ⅰ外端面为密封面,所述真空室体置于固定支座上,在真空室体两端各设有一封头门,所述封头门固定在移动门架上,所述移动门架底部设有脚轮,脚轮置于道轨上,移动门架由电机驱动在道轨上平行移动,封头门的边缘焊接有与法兰Ⅰ对接的法兰Ⅱ。本发明的大型磁控溅射镀膜机的真空室结构,既能满足高真空密封的要求,又能满足取放工件的大开度要求,抗压均匀,稳定性好、使用方便。