预览加载中,请您耐心等待几秒...
1/4
2/4
3/4
4/4

在线预览结束,喜欢就下载吧,查找使用更方便

如果您无法下载资料,请参考说明:

1、部分资料下载需要金币,请确保您的账户上有足够的金币

2、已购买过的文档,再次下载不重复扣费

3、资料包下载后请先用软件解压,在使用对应软件打开

超声振动辅助磨削加工理论及多晶硅材料的磨削实验研究 超声振动辅助磨削加工理论及多晶硅材料的磨削实验研究 摘要:随着科技的不断发展,工业制造技术也在不断进步,对材料的要求也越来越高,磨削作为一种重要的加工工艺在制造业中广泛应用,而超声振动辅助磨削加工技术则能够更好地提高加工效率和精度。本文主要介绍了超声振动辅助磨削加工的理论基础及其在多晶硅材料的磨削实验方面的应用。通过对实验结果的分析,发现超声振动可以有效地提高多晶硅材料的表面质量和磨削效率,进一步提高了多晶硅材料的加工精度和实用性。 关键词:超声振动,磨削加工,多晶硅材料 Abstract:Withtheconstantdevelopmentofscienceandtechnology,industrialmanufacturingtechnologyisalsoimproving,andtherequirementsformaterialsarealsoincreasing.Grinding,asanimportantmachiningprocess,iswidelyusedinthemanufacturingindustry.Theultrasonicvibration-assistedgrindingprocesscanbetterimprovetheprocessingefficiencyandprecision.Thispapermainlyintroducesthetheoreticalbasisofultrasonicvibration-assistedgrindinganditsapplicationinthegrindingexperimentofpolycrystallinesiliconmaterials.Throughtheanalysisoftheexperimentalresults,itisfoundthatultrasonicvibrationcaneffectivelyimprovethesurfacequalityandgrindingefficiencyofpolycrystallinesiliconmaterials,furtherimprovingthemachiningaccuracyandpracticalityofpolycrystallinesiliconmaterials. Keywords:Ultrasonicvibration,Grinding,Polycrystallinesiliconmaterial 1引言 多晶硅材料因其良好的物理和化学性质,被广泛地应用于电子、半导体、通讯和太阳能等行业。在制造多晶硅材料时,高精度、高稳定性和低损伤度的加工技术是至关重要的。磨削是一种常用的多晶硅材料加工技术,但是在磨削过程中会产生高温和高压,容易导致表面烧伤、裂纹、划痕等问题,影响多晶硅材料的表面质量和加工精度。 超声振动辅助磨削加工技术是一种新型的磨削加工技术,利用高频超声波的振动力作用于磨削过程中的磨削工具和工件间的接触界面,不仅能够改善磨削过程中的高温和高压现象,而且能够促进材料削除,提高加工效率和精度。 本文将从超声振动辅助磨削加工技术的理论基础入手,结合多晶硅材料的磨削实验,探讨超声振动辅助磨削加工技术的应用效果及其对多晶硅材料加工的影响。 2超声振动辅助磨削加工技术的理论基础 2.1超声振动的原理 超声振动是指频率在20kHz到1GHz之间的声波振动。高频超声波振动能够产生高频力,这种高频力作用于磨削工具和工件间的接触界面,可以起到一定的促进作用,使材料更容易被削除,从而提高加工效率和精度。此外,超声振动还可以改善磨削过程中的高温和高压现象,减少磨削过程中的表面烧伤、裂纹、划痕等问题,提高多晶硅材料的表面质量和加工精度。 2.2超声振动辅助磨削加工技术的优势 超声振动辅助磨削加工技术具有以下几个优势: (1)提高加工效率和精度:超声振动能够减小磨粒与工件的间隙,在过渡套段的边缘处控制磨削刃口。通过控制切削奥义在磨削角度的大小,可以实现更高精度的表面磨削。 (2)改善磨削过程中的高温和高压现象:超声振动作用于接触界面时,能够改善磨削过程中的高温和高压现象,减少磨削过程中的表面烧伤、裂纹、划痕等问题。 (3)减少磨削液的使用量:超声振动可以使磨粒在介质中发生强烈的涡流运动,从而改善磨削液的流动性和循环,减少磨削液的使用量。 (4)降低能耗和环境污染:超声振动辅助磨削加工技术需要的能量很低,能够实现节能减排的效果。 3多晶硅材料的磨削实验 3.1实验材料和设备 实验选用多晶硅材料作为试验材料,采用热处理工艺获得所需的晶体结构和性能,最终粒度为10μm以下。实验所需设备包括:通用磨床、磨削刀具、超声振动器和磨削液等。 3.2