铁磁、磁性半导体及超导复合磁性隧道结的制备研究.docx
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铁磁、磁性半导体及超导复合磁性隧道结的制备研究.docx
铁磁、磁性半导体及超导复合磁性隧道结的制备研究铁磁、磁性半导体及超导复合磁性隧道结的制备研究摘要:铁磁、磁性半导体及超导材料是当前磁性材料研究的热点领域之一。本文首先介绍了铁磁材料、磁性半导体材料和超导材料的基本原理和性质,然后针对复合磁性隧道结的制备技术进行探讨,包括材料的选择、制备过程和表征方法,最后总结了目前的研究进展和存在的问题,并展望了未来的研究方向。1.引言铁磁材料具有良好的磁性,广泛应用于电子设备中,但其在自旋电子学器件中存在着磁矩传输的困难。磁性半导体材料具有同时具备磁性和半导体性质的特点
纳米磁性隧道结的制备与高频磁动力学研究.docx
纳米磁性隧道结的制备与高频磁动力学研究随着信息技术的快速发展,对存储器件非常高效的需求也不断提高。在这个背景下,磁性隧道结显现出了重要的应用潜力。磁性隧道结具有高阻尼和高顺磁性,这使它们在高速存储器中作为可重写电子存储器非常吸引人。制备纳米磁性隧道结纳米磁性隧道结的制造涉及到复杂的工艺,这也成为了研究磁性隧道结时需要考虑的重要问题之一。下面将介绍制备磁性隧道结的方法。在制备磁性隧道结的过程中,要使用电子束光刻技术制作沟槽。这是为了确保隧道结的结构完整和尺寸,因为隧道结的盒子必须非常精确,才能确保其电阻为隧
CoFeBMgOCoFeB磁性隧道结制备与特性研究.docx
CoFeBMgOCoFeB磁性隧道结制备与特性研究标题:CoFeBMgO/CoFeB磁性隧道结制备与特性研究摘要:随着信息技术的发展,磁性隧道结作为一种重要的磁性材料,在磁性存储器和磁性传感器中发挥着重要作用。本文以CoFeBMgO/CoFeB磁性隧道结为研究对象,通过合适的制备工艺和对材料特性的深入研究,探讨了该结构的制备方法和磁性特性。实验证明,CoFeBMgO/CoFeB磁性隧道结具有较高的磁阻比和较低的磁滞回线。关键词:磁性隧道结,CoFeBMgO,CoFeB,制备方法,磁性特性1.引言磁性隧道结
磁性隧道结的制备方法.pdf
本发明提供一种磁性隧道结的制备方法,所述方法包括:提供一衬底,在所述衬底上依次沉积底电极材料层、MTJ材料层、金属硬掩膜层和介质硬掩膜层,其中所述MTJ材料层包括:第一磁性薄膜层、位于所述第一磁性薄膜层上方的绝缘薄膜层以及位于所述绝缘薄膜层上方的第二磁性薄膜层;光刻出掩膜形状,并刻蚀所述介质硬掩膜层和所述金属硬掩膜层;进一步刻蚀所述MTJ材料层,将刻蚀终点停留在所述绝缘薄膜层与所述第一磁性薄膜层的界面;形成第一保护层并刻蚀所述第一保护层,只保留所述第一保护层的垂直部分;以刻蚀后的所述金属硬掩膜层为硬掩膜,
纳米磁性隧道结的制备与高频磁动力学研究的任务书.docx
纳米磁性隧道结的制备与高频磁动力学研究的任务书任务书一、任务背景随着信息技术的快速发展,信息存储和传输的需求不断增加,因此对磁性材料及其相关技术的研究也变得尤为重要。纳米磁性隧道结具有优异的磁学性能,在信息存储和传输领域有着广泛的应用前景。因此,本次研究旨在对纳米磁性隧道结的制备、结构特性与高频磁动力学进行研究,为相关领域的科学研究提供基础理论研究和技术支持。二、研究内容1.纳米磁性隧道结的制备技术研究研究纳米磁性隧道结的制备技术,探索不同工艺条件下的制备工艺及优化方案。采用双金属交替沉积法、磁性原子层沉