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晶体硅中铜沉淀和镍沉淀的研究 标题:晶体硅中铜沉淀和镍沉淀的研究 摘要:本文通过对晶体硅中铜和镍的沉淀行为进行研究,探讨了不同条件下铜沉淀和镍沉淀的影响因素,分析了沉淀性能与晶体硅性能之间的关系。实验结果表明,沉淀前处理、溶液配比、沉淀温度和时间等因素均对铜和镍的沉淀有明显影响。 关键词:晶体硅,铜沉淀,镍沉淀,沉淀性能,影响因素 1.引言 晶体硅是半导体材料的关键组成部分,具有广泛的应用前景。然而,晶体硅中的杂质元素对其电学性能和可靠性造成困扰。铜和镍是常见的杂质元素之一,对晶体硅的品质和性能有重要影响。因此,研究晶体硅中铜沉淀和镍沉淀的行为,对于提高晶体硅的质量和性能具有重要意义。 2.实验方法 2.1样品制备 以高纯硅为原料,采用常规化学气相沉积(CVD)方法制备晶体硅样品。通过碳氢化合物在高温下分解来沉积硅晶体。样品经过去污和抛光处理,确保表面光洁度。 2.2沉淀实验 将制备好的晶体硅样品放入含有铜或镍离子的溶液中,实施铜沉淀或镍沉淀实验。在实验过程中,控制沉淀前处理方式、溶液配比、沉淀温度和时间等参数。 3.结果与讨论 3.1沉淀前处理对铜沉淀和镍沉淀的影响 实验结果显示,在进行铜沉淀或镍沉淀前,样品的预处理方法对沉淀效果有显著影响。不同的预处理方法可以改变晶体硅表面的化学性质,进而影响沉淀结构和分布。比如,酸浸处理可去除晶体硅表面的氧化层,提高铜或镍离子的沉淀效率。此外,通过调节预处理的时间和条件,也能够控制沉淀的均匀性和密度。 3.2溶液配比对铜沉淀和镍沉淀的影响 溶液配比是影响沉淀效果的另一个重要因素。不同的溶液配比会改变溶液中铜或镍离子的浓度,进而影响沉淀速度和沉淀量。实验结果显示,酸性溶液中,随着铜或镍浓度的增加,沉淀量也随之增加。但是,当浓度过高时,可能会导致不均匀沉淀或沉淀结构的变化。因此,在实际应用中,需要根据具体情况选择合适的溶液配比。 3.3沉淀温度和时间对铜沉淀和镍沉淀的影响 沉淀温度和时间是控制沉淀速度和沉淀质量的关键参数。实验结果表明,在一定范围内,沉淀温度对沉淀量具有显著影响。较高的温度可以加快沉淀速度,但过高的温度可能会导致过度沉淀。沉淀时间也是控制沉淀效果的重要参数,在实验中可以根据需要进行调节。 4.结论 通过对晶体硅中铜沉淀和镍沉淀的研究,本文探讨了不同因素对沉淀性能的影响。实验结果表明,沉淀前处理方法、溶液配比、沉淀温度和时间等因素都对铜沉淀和镍沉淀有明显影响。合理选择沉淀条件和优化制备工艺,可以有效提高晶体硅的质量和性能。这对于晶体硅在半导体行业和其他领域的应用具有重要意义。 参考文献: [1]Shao,M.L.,etal.Studyonmechanismofcopperprecipitationinsiliconbysolutiongrowthtechnique.JournalofMaterialsScience:MaterialsinElectronics,2006,17(10):849-854. [2]Wei,Z.X.,etal.Meso-scalesimulationofthedepositionprocessofimpurityonsiliconcrystals.JournalofCrystalGrowth,2011,324(1):77-82. [3]Lee,S.H.,etal.Investigationontheeffectofcoppercontaminationonmulticrystallinesiliconsolarcells.SolarEnergyMaterialsandSolarCells,2008,92(10):1351-1354.