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PDMS基柔性电容式传感器制备方法的研究的中期报告
一、选题背景及研究意义
随着现代科技的不断进步，传感器作为检测技术的基础，在诸多领域得到广泛应用，如汽车、航空、医疗、机器人等行业。柔性传感器是一种新型的传感器，它具有贴合性、高精度、高灵敏度、低功耗、轻量化的优势，可以实现对微小变形的测量，因此在军事、医学检测、体育运动、机器人等领域具有广泛的应用前景。
PDMS（聚二甲基硅氧烷）作为一种高分子材料，其透明、柔软性好、生物相容性好等特点使其成为微流控芯片、生物传感器等领域的研究热点。在柔性传感器领域，PDMS可以作为传感器的主体材料，通过不同的制备方法制备出柔性电容式传感器，以便于其在实际应用中发挥更好的性能。
因此，本研究选取PDMS为基础材料，通过不同的制备方法探究PDMS基柔性电容式传感器的制备方法，并对比分析其性能差异，对于推进柔性传感器在实际应用领域的应用具有积极的意义。
二、研究进展及主要工作
本研究分为以下几个阶段进行：
1.文献综述
通过检索相关文献，对PDMS基柔性电容式传感器的发展历程、制备方法、性能表现等方面进行综述，为后续研究提供基础了解。
2.材料及仪器准备
本研究所使用的主要仪器装备包括电子天平、烤箱、显微镜、电流源、LCR表等。在实验中所使用的主要材料有PDMS、硅胶模具、铜箔、PET薄膜等。
3.制备方法研究
本研究采用两种不同的PDMS制备方法，即单层双电极法和双层双电极法，并对其进行对比分析。
单层双电极法制备PDMS基柔性电容式传感器的方法流程：
（1）在硅胶模具上制备铜箔电极；
（2）在电极上加入PDMS材料并烘烤固化；
（3）在PDMS上导入负压，使其与电极贴合；
（4）剥离模具后在PDMS表面贴上PET薄膜即制备出PDMS基柔性电容式传感器。
双层双电极法制备PDMS基柔性电容式传感器的方法流程：
（1）在硅胶模具上制备第一层PDMS；
（2）在该层PDMS上附加铜箔电极；
（3）在电极上加入第二层PDMS材料并烘烤固化；
（4）在第二层PDMS上导入负压，使其与电极贴合；
（5）剥离模具后在第二层PDMS表面植入铜箔电极并贴上PET薄膜即制备出PDMS基柔性电容式传感器。
4.初步性能测试
通过LCR表检测PDMS基柔性电容式传感器的电容值、电阻值等电学性能指标，并利用显微镜观察其表面形貌。
三、预期研究结果
本研究通过不同的制备方法制备PDMS基柔性电容式传感器，并对其进行性能评估，预期结果如下：
（1）单层双电极法相对双层双电极法具有制备简单、成本低等优势，但其制备出的PDMS基柔性电容式传感器的灵敏度等性能指标可能较低；
（2）双层双电极法制备出的PDMS基柔性电容式传感器可能具有较高的灵敏度和稳定性，但其制备过程相对比单层双电极法更加复杂。
通过本研究对不同制备方法下PDMS基柔性电容式传感器的对比研究，可以选择出更加适合实际应用的制备方法，推进柔性传感器的应用领域，具有重要的意义。