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PDMS基柔性电容式传感器制备方法的研究的开题报告
一、研究背景
传感器是现代化生产生活中不可或缺的一种设备，它能够将不同物理量或物质的信息转化为电信号，从而实现对不同物理量或物质的检测和测量。传感器的制备技术已经得到了很大的发展，其中，PDMS基柔性电容式传感器可广泛应用于食品、医药、石油等领域，具有灵敏度高、稳定性好和适应性强等优点，因此深受研究者和应用单位的青睐。
二、研究目的
PDMS基柔性电容式传感器制备方法的研究，旨在为开发具有高性能、高灵敏度和良好稳定性的电容式传感器提供技术支持和基础理论。
三、研究内容
本研究主要内容包括以下三个方面：
（1）PDMS基硅微纳加工技术的研究
硅微纳加工技术是PDMS基柔性电容式传感器制备的关键技术，它包括器件设计、图形制作、光刻、蚀刻等多个工艺环节。本研究将重点研究PDMS基硅微纳加工技术，探索特定加工条件下的器件制备方法，并优化工艺参数，从而实现更高的制备效率和器件质量。
（2）PDMS材料的特性研究
PDMS作为柔性电容式传感器的基材，其物理化学特性对器件性能至关重要。本研究将从PDMS的化学成分、热力学性质和力学特性等方面进行探讨，以期得出更适用于柔性电容式传感器的PDMS材料。
（3）PDMS基柔性电容式传感器的制备
本研究将继承现有的PDMS基柔性电容式传感器制备方法，将其优化和改进，以提高器件灵敏度和稳定性。同时，本研究将会探索更多的加工工艺，如自组装技术，以期制备出功能更为完善的柔性电容式传感器。
四、研究意义
（1）PDMS基柔性电容式传感器制备方法的研究可以推动国内柔性电容式传感器制备技术的发展，有助于提高我国传感器制造业的整体技术水平；
（2）PDMS基柔性电容式传感器具有广泛的应用前景，可以在医疗、食品、环保等领域中发挥作用，具有经济和社会效益；
（3）探索PDMS材料的特性，有助于国内制备更加适用的PDMS体系，同时也能推动PDMS材料在其他领域的发展。
五、研究计划
本研究计划从2022年2月至2024年6月，具体研究计划如下：
（1）2022年2月至2022年6月，完成硅微纳加工技术的研究，探索器件制备方法。
（2）2022年6月至2023年6月，进行材料特性研究，确定最适合柔性电容式传感器制备的PDMS材料。
（3）2023年6月至2024年6月，完成PDMS基柔性电容式传感器的制备，持续不断进行优化改进，最终得到高质量、高性能的产品。
六、研究难点
本研究面临的主要难点如下：
（1）PDMS光降解、老化等问题，如何提高器件稳定性是一个极具挑战性的问题。
（2）PDMS材料本身就会有许多物理变化，在制作材料过程中，要严格控制其膨胀率和表面微观形貌等，这也是制造柔性电容器的主要挑战。