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GaN基紫外探测器材料与结构研究的任务书 任务书 一、研究背景 紫外辐射(UV)具有很高的能量和较短的波长,对生物和环境都具有重要的影响。因此,对于紫外探测技术的需求越来越重要。实现高性能紫外探测器的关键在于研究高效的探测材料和适当的结构设计。由于氮化镓(GaN)材料具有良好的物理和化学性质,被广泛用于半导体光电器件,包括紫外探测器。然而,由于GaN材料的高能隙和高电场,其制造和结构设计都具有挑战性。因此,本研究旨在研究GaN基紫外探测器材料和结构,以提高其性能。 二、研究目的 本研究的目的是研究GaN基紫外探测器材料和结构,以实现更高的探测效率和更低的噪声水平。具体目标如下: 1.分析GaN材料的物理和化学特性,研究其在紫外探测器中的应用。 2.设计和制造GaN基紫外探测器结构,包括单晶和多晶GaN。 3.用不同的方法对制造的GaN基紫外探测器进行测试和分析,以确定其性能和应用范围。 三、研究内容 1.氮化镓材料的物理和化学性质分析 根据相关文献和实验数据,分析不同成分和性质的氮化镓材料的物理和化学性质,特别是在紫外光区域的吸收和导电特性。 2.制备GaN基紫外探测器材料 使用金属有机化学气相沉积(MOCVD)和分子束外延(MBE)等技术制备单晶和多晶GaN材料。通过对制备过程的优化,调整气相反应和生长过程中的工艺参数,获得具有均匀厚度和优良光学和电学性能的材料。 3.设计和制造GaN基紫外探测器 基于制备的GaN材料,设计并制造不同的GaN基紫外探测器结构,如p-i-n、n-i-p和avalanchephotodiodes(APD)。通过调整结构参数,如掺杂浓度、电极间距和厚度等,以获得具有高光电转换效率和低噪声水平的探测器。 4.探测器测试和分析 对制造的GaN基紫外探测器进行性能测试和分析,包括吸收谱、电流-电压曲线、响应时间和量子效率等。通过使用紫外光源和以不同功率和频率激发探测器,对其性能进行测试,以确定其检测效率和应用范围。 四、研究意义 本研究的结果有以下意义: 1.为突破目前紫外探测器材料瓶颈,提供新的材料和结构设计思路。 2.提高了GaN材料在紫外探测器中的应用价值,为制造高性能紫外探测器提供途径。 3.为了解和控制GaN基紫外探测器制备过程中的重要参数提供了更多的知识。 4.为紫外辐射监测和应用领域提供实用性和经济性更高的紫外探测器。 五、研究进度安排 1.前期准备:2021年6月-7月 分析文献资料,了解GaN材料的制备和紫外探测器性能。 2.实验材料制备:2021年8月-9月 制备GaN材料,包括纯GaN薄膜、p-i-n和APD结构。 3.紫外探测器测试:2021年10月-11月 用紫外光谱和其他测试方法对制造的探测器进行测试和分析。 4.数据分析评估:2021年12月 对测试结果进行统计和数据分析,评估探测器性能和应用范围。 5.论文撰写和提交:2022年1月-2月 编写研究论文,并在学术期刊上发表。 六、预期成果 1.完成GaN基紫外探测器材料和结构的设计和制造,获得不同性能的探测器。 2.分析比较制造的探测器的性能和效果,并确定其优点和缺点。 3.编写研究论文并发表在学术期刊上,并参加学术会议对研究成果进行展示和讨论。 七、参考文献 1.Liu,S.,Tan,B.,Liu,Y.,Wang,H.,Chen,P.,Wu,H.&Xu,K.GaN-basedultravioletnegativedifferentialresistanceavalanchediodeswithenhancedresponsivity.Semicond.Sci.Technol.32,125010(2017). 2.SunC,LiY,LiuS,etal.High-SensitivityandLow-NoiseGaN-BasedUVAvalanchePhotodiodes[J].JournalofElectronicMaterials,2017,46(9):5453-5460. 3.HäberlenO,PfüllerC,KnauerA,etal.Nitridesemiconductorsfreeofelectrostaticfieldsforefficientwhitelight-emittingdiodes[J].Nature,2011,459(7243):190-194. 4.NakamuraS,MukaiT,SenohM.Candela-classhghi-brightnessInGaN/AlGaNdouble-heterostructureblue-light-emittingdiodes.APPLIEDPHYSICSLETTERS,1994,64(13):1687-1689. 5.KneisslM,KolbeT,Ch