

基于机器视觉的单晶炉提拉装置摆动量检测方法研究.docx
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基于机器视觉的单晶炉提拉装置摆动量检测方法研究.docx
基于机器视觉的单晶炉提拉装置摆动量检测方法研究摘要:随着工业自动化的发展和进步,对于生产过程中的监测和控制要求越来越高。本文针对单晶炉提拉装置摆动量的检测问题,提出了一种基于机器视觉的检测方法。第一章引言1.1研究背景和意义1.2文章结构安排第二章相关技术介绍2.1机器视觉技术2.2单晶炉提拉装置摆动量检测技术第三章系统架构与设计3.1系统整体架构3.2硬件设计3.3软件设计第四章算法设计与实现4.1图像预处理4.2特征提取与选择4.3摆动量计算算法第五章实验与结果分析5.1实验准备与数据采集5.2实验结
单晶提拉装置及单晶提拉方法.pdf
本发明是一种单晶提拉装置,具备:提拉炉,其具有中心轴;以及磁场产生装置,其设置于该提拉炉的周围,且具有超导线圈,通过对熔融的半导体原料施加水平磁场,从而抑制在坩埚内的对流,超导线圈是鞍型形状,设有2组对置配置的鞍型形状的超导线圈的对,2组超导线圈的对中的2根所述线圈轴包含在相同的水平面内,在水平面内,在将提拉炉的中心轴的磁力线方向设为X轴时,2根线圈轴间的夹着X轴的中心角度α为100度以上、120度以下。由此,提供能够通过提高磁场产生效率来减小线圈高度,而能够将磁场中心提高至半导体原料的熔融液面附近,从而
单晶提拉装置及单晶提拉方法.pdf
本发明是一种单晶提拉装置,具备:提拉炉,其配置有加热器和坩埚并具有中心轴;以及磁场产生装置,其具有超导线圈,磁场产生装置具有四个超导线圈,在由包含X轴和提拉炉的中心轴的剖面划分的两个区域的每一个中,各两个超导线圈配置为相对于剖面线对称,其中,该X轴是包含四个超导线圈的所有线圈轴的水平面内的中心轴上的磁力线方向,四个超导线圈都配置为,线圈轴相对于Y轴成大于‑30°小于30°的角度范围,该磁力线的方向相对于剖面线对称,在每一个区域中,两个超导线圈产生的磁力线的方向相反。由此,提供一种在单晶提拉装置的解体·安装
单晶提拉方法和单晶提拉装置.pdf
本发明提供单晶提拉方法和单晶提拉装置,所述单晶提拉方法是在通过直拉法从硅熔融液中提拉硅单晶时,在肩部形成后、且在产品部前半形成中,向硅熔融液中高效地添加掺杂剂而不会产生有位错化,可得到低电阻率的单晶。所述方法具备以下工序:形成惰性气体流(G)的工序,该惰性气体流在配置成包围在炉内培育的硅单晶(C)的隔热板(7)的内侧从上方朝向硅熔液面(M1)流动,同时沿着上述硅熔液面放射状地扩展,向上述坩埚外排气;在上述炉内使掺杂剂变成气态的工序;将已变成气态的掺杂剂排放到上述隔热板的内侧的工序;以及使上述已变成气态的掺
一种单晶炉提拉头校准装置及校准方法.pdf
本发明提供一种单晶炉提拉头校准装置,包括:与重锤连接的固定部;校准部;以及用于连接所述固定部和所述校准部的连接部;所述固定部、所述连接部和所述校准部同轴心设置;所述校准部为锥形体结构且其小径端靠近所述连接部一侧设置;所述校准部大径端为平整平面。本发明还提出一种采用该校准装置的单晶炉提拉头校准方法。本发明设计的校准装置及校准方法,可精准地对提拉头重心水平位置进行校准,保证其对中不发生偏移,校准效果好且校准效率高,无需过多其它装置配合即可完成提拉头的校准工作,结构简单且易于加工。