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基于半解析法的全耗尽SOIMOSFET亚阈值表面势分析的开题报告 一、选题背景 随着科技进步和社会发展,集成电路技术已经成为高新技术发展的基础。而其中的SOI(Silicon-on-Insulator)技术则是一种非常有前景的技术,在新一代半导体工艺中被广泛应用。SOI技术具有低电压操作、低功耗、更高的开关速度、较高的集成度等优点,因此受到了广泛的关注。 在SOI技术中,SOIMOSFET是一种非常重要的器件。SOIMOSFET传统上被用来取代SiMOSFET,以改进电路性能。然而,SOIMOSFET在亚阈值区工作时,其表现和SiMISFET相比却存在明显的差异。测试和研究表明,SOIMOSFET在亚阈值区工作时,其开关速度、技术参数和性能等都会发生明显的变化。因此,对SOIMOSFET在亚阈值区的表面势进行分析,明确其内在原理,对于SOIMOSFET的设计和制造具有重要的意义和价值。 二、研究内容 本次研究以全耗尽SOIMOSFET为研究对象,以半解析法为主要分析手段,研究SOIMOSFET在亚阈值区的表面势特性。具体研究内容如下: 1.了解SOIMOSFET的基本性质和结构。 2.了解全耗尽SOIMOSFET的结构和性质。 3.研究半解析法在分析SOIMOSFET表面势特性中的应用。 4.基于半解析法,分析全耗尽SOIMOSFET在亚阈值区的表面势特性。 5.总结分析结果,对研究结果进行评估和探讨。 三、研究意义 本研究对于SOIMOSFET在亚阈值区的性能研究具有积极的意义和价值: 1.为SOIMOSFET的设计和制造提供了重要的理论依据和参考; 2.加深对半解析法的理解和应用; 3.促进了亚阈值电路的发展和应用。 四、研究方法 本研究使用了半解析法进行分析。半解析法是一种数值计算方法,既保留了解析方法的优点,又利用了数值方法的特点,在解决大规模数字电路仿真和亚阈值MOSFET表面势分析等方面得到了广泛的应用。 五、研究进度 目前,已完成对全耗尽SOIMOSFET基本性质和结构的了解。正在进行对半解析法在分析SOIMOSFET表面势特性中的应用的研究。进度较为顺利。 六、结论 本次研究将从SOIMOSFET的基本结构特性出发,研究其在亚阈值区表面势的特性和规律。半解析法将被应用于该项研究中,旨在增进对亚阈值电路的认识和理解,并为其的设计和研究提供一定的理论基础。