大规模互连线模型降阶算法研究的开题报告.docx
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基于降阶宏模型的MEMS系统级仿真平台研究的开题报告一、选题背景和意义随着微电子技术和纳米技术的迅速发展,微机电系统(MEMS)在传感、数据采集、精密控制等领域得到广泛应用。MEMS系统不仅需要高性能的硬件器件,还需要有效的设计、仿真和优化方法以提高其性能、可靠性和经济性。因此,MEMS系统级仿真平台成为MEMS设计、仿真和优化的重要工具。降阶宏模型是一种有效的MEMS系统仿真方法,它将微观模型(如有限元模型、分子动力学模型等)中的细节抽象为宏观模型,从而大大简化了计算。降阶宏模型广泛应用于MEMS器件的