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本征富受主型氧化锌单晶微米管的制备方法及光电性能研究的任务书 任务书 一、任务背景 氧化锌是一种重要的半导体材料,具有良好的光电性能和化学稳定性,因此被广泛应用于光电领域、电子学和生物医学等领域。特别是氧化锌单晶微米管,其具有高导电性和大比表面积,是制备高效光电器件的重要基础材料。因此,制备本征富受主型氧化锌单晶微米管并研究其光电性能具有重要意义。 二、任务要求 1.按照文献综述和已有的制备方法,采用合适的方法制备本征富受主型氧化锌单晶微米管。 2.制备好的样品进行结构表征和光电性能测试。具体包括: (1)采用透射电子显微镜(TEM)、扫描电子显微镜(SEM)等手段对样品的形貌和结构进行表征。 (2)利用紫外-可见吸收光谱仪测定样品的吸收光谱,并分析其能带结构和光学性质。 (3)使用自行搭建的光电测试系统测定样品的光电性能,包括暗电流、光电流及光电压与光强的关系等;同时进行光响应时间的测量。 3.将实验结果进行分析和讨论,并撰写实验报告。 三、实验设备和材料 1.制备设备:霍尔极限水离子源、射频反应磁控溅射系统、真空蒸发系统、热处理炉等。 2.表征设备:透射电子显微镜、扫描电子显微镜、紫外-可见吸收光谱仪等。 3.实验材料:富受主型氧化锌靶材、硅衬底等。 四、实验步骤 1.制备本征富受主型氧化锌单晶微米管。 首先,使用霍尔极限水离子源制备氧化锌薄膜。然后,在真空蒸发设备中制备硅衬底。之后,在射频反应磁控溅射系统中使用富受主型氧化锌靶材,通过调节氧流量、氩气流量、压力和功率等参数,制备本征富受主型氧化锌单晶微米管。最后,利用热处理炉进行退火处理,提高样品的结晶度和晶格质量。 2.结构表征和光电性能测试 将样品进行透射电子显微镜和扫描电子显微镜的表征,并利用紫外-可见吸收光谱仪进行吸收光谱测试。然后,将样品放置在自行搭建的光电测试系统中,进行光电性能测试,包括暗电流、光电流和光电压的测试,以及光响应时间的测量。 3.数据分析和报告撰写 对实验结果进行分析和讨论,并撰写实验报告。 五、实验安全注意事项 1.涉及到真空体系和高温状态,需要加强安全意识。 2.对所使用的化学试剂和有害物质进行妥善处置。 3.依照实验室规定正确穿戴实验用的防护用品,注意火源的开放与关闭。 六、参考文献 1.Patil,P.R.,&Jadkar,S.R.(2019).PerformanceevaluationofZnOnanorodsandnanotubesforgassensingapplications.MicroelectronicsJournal,84,34-41. 2.Lei,Y.F.,Wang,P.,&Jia,Y.(2018).PhotocurrentbehaviorsinZnOnanowires/microrodsdirectlygrownonpapersubstrates.JournalofAlloysandCompounds,769,857-864. 3.Wang,G.L.,Wang,D.W.,&Han,L.(2019).InfluenceofthethicknessofZnOfilmontheopticalandelectricalpropertiesofZnO:Alfilm.JournalofAlloysandCompounds,799,147-154. 4.Lu,C.H.,Wu,T.T.,&Huang,M.L.(2019).GrowthofZnOnanorodsandnanotubesongraphenecoatedSisubstratebyhydrothermalmethod.AppliedSurfaceScience,493,782-789. 5.Guo,Y.R.(2021).EffectoftemperatureandZnOseedlayerontheformationofaligned,largescaleZnOnanowires.AppliedSurfaceScience,542,148628.