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节电子束和离子束加工课程.pptx

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会计学7.1电子束加工7.1.1电子束加工的原理及特点7.1.3.电子束加工的应用利用电子束的可控偏转特性加工曲面和斜孔2）电子束切割 可对各种材料进行切割，切口宽度仅有3～6μm。 利用电子束再配合工件的相对运动，可加工所需要的曲面3）光刻 当使用低能量密度的电子束照射高分子材料时，将使材料分子链被切断或重新组合，引起分子量的变化即产生潜象，再将其浸入溶剂中将潜象显影出来。 把这种方法与其它处理工艺结合使用，可实现在金属掩膜或材料表面上刻槽。4）其它应用 用计算机控制，对陶瓷、半导体或金属材料进行电子刻蚀加工；异种金属焊接；电子束热处理等。7.2.1.离子束加工原理及特点2.离子束加工特点3.离子束加工的应用范围1）离子刻蚀2）离子溅射沉积/3）离子镀膜/4）离子注入//