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新型Ga掺杂ZnO基透明导电薄膜的制备与研究任务书 任务书 一、背景与意义 透明导电薄膜作为一种重要的新兴材料,在显示器、太阳能电池、智能玻璃等领域有着广泛应用,随着科学技术的不断发展,对透明导电薄膜的要求也越来越高。 ZnO是一种重要的透明导电材料,以其优良的透明度、稳定性和可调节性等优良性能被广泛研究,但ZnO的电学性能研究仍存在一些问题,导致其应用受到限制。掺杂是改善ZnO电学性能的有效手段之一,Ga作为ZnO的常见掺杂物,可使ZnO的导电性能得到提高。因此,研究新型Ga掺杂ZnO基透明导电薄膜的制备与性能优化对于新型透明导电薄膜的研发有着重要意义。 二、研究目标与内容 1.研究新型Ga掺杂ZnO基透明导电薄膜的制备工艺,明确最佳工艺条件。 2.研究新型Ga掺杂ZnO基透明导电薄膜的结构、成分、表面形貌等微观形态,并分析其对电学性能的影响。 3.研究新型Ga掺杂ZnO基透明导电薄膜的导电性能,并优化其电学性能。 4.研究掺杂过程中ZnO和Ga之间的相互作用机制,探究掺杂对ZnO电学性能的影响和机理。 三、研究方案与方法 1.新型Ga掺杂ZnO基透明导电薄膜的制备 采用溶胶-凝胶法或磁控溅射法制备新型Ga掺杂ZnO基透明导电薄膜。 2.表征 采用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、原子力显微镜(AFM)等对样品进行表征,分析结构、成分、表面形貌等微观形态。 3.导电性能测试 采用霍尔效应测试仪和四探针测试法对样品进行电学性能测试,分析其导电性能和优化电学性能。 四、预期成果 1.掌握新型Ga掺杂ZnO基透明导电薄膜的制备工艺,明确最佳工艺条件。 2.分析新型Ga掺杂ZnO基透明导电薄膜的结构、成分、表面形貌等微观形态,并分析其对电学性能的影响。 3.研究新型Ga掺杂ZnO基透明导电薄膜的导电性能,并优化其电学性能。 4.探究掺杂过程中ZnO和Ga之间的相互作用机制,探究掺杂对ZnO电学性能的影响和机理。 五、参考文献 1.Kang,J.S.,Tu,C.W.,&Li,W.(2015).ImprovedelectricalpropertiesofGa-dopedZnOtransparentconductingfilmsthroughthecomposition-gradient-combinatorialapproach.ThinSolidFilms,590,324-331. 2.Li,S.Y.,Wu,W.K.,Wang,J.Y.,&Shih,C.H.(2017).EffectofGadopingonZnOthinfilmspreparedbyionbeamassisteddeposition.Vacuum,144,255-260. 3.Tian,Z.,Li,X.,Li,Y.,Chen,C.,Chu,J.,&Lu,Y.(2015).EnhancedpropertiesofGa-dopedZnOthinfilmswithorganicdyeadditivespreparedbysol-gelmethod.JournalofAlloysandCompounds,618,230-236. 4.Wang,X.D.,Dai,Y.D.,Fu,G.S.,Chen,Y.F.,&Shao,J.J.(2015).PropertiesofGa-dopedZnOthinfilmspreparedbyradiofrequencymagnetronsputtering.ThinSolidFilms,594,210-216. 6.Xu,D.,Li,J.,Che,Y.L.,Qu,J.,Wang,J.Y.,&Shen,W.Z.(2016).EffectofGadopingonthestructuralandelectricalpropertiesofZnOthinfilmspreparedbyradiofrequencymagnetronsputtering.MaterialsScienceinSemiconductorProcessing,44,1-6.