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铌酸锌铋BZN薄膜的制备和介电可调性能研究的任务书 任务书 任务背景: 铌酸锌铋(BZN)具有较高的介电常数和可调性,因此被广泛应用于微波器件和射频器件的制造中。薄膜技术是制备BZN材料的一种重要手段,通过薄膜技术可以制备出具有高可调性能的BZN薄膜。因此,本次研究旨在制备BZN薄膜,并研究其介电可调性能。 任务内容: 1.BZN薄膜的制备 采用射频磁控溅射法或脉冲激光沉积法制备BZN薄膜,优化制备工艺,获得高质量的BZN薄膜。通过X射线衍射仪和扫描电子显微镜等手段对制备的BZN薄膜进行结构和形貌表征。 2.BZN薄膜介电可调性能的表征和研究 (1)采用LRC桥法测量BZN薄膜的介电常数和损耗,根据测量结果分析制备工艺对其性能的影响。 (2)采用局部电极法研究BZN薄膜的介电可调性能,并研究其电压调节范围和线性度。 (3)通过研究BZN薄膜的介电可调性能,进行材料设计和推导出其在微波器件和射频器件中的应用。 3.结果分析 分析BZN薄膜的介电常数,介电损耗,电压调节幅度和线性度,以及在微波器件和射频器件中的应用前景。提出在制备BZN薄膜方面的改进意见和建议。 任务要求: 1.对制备BZN薄膜的工艺流程和使用的仪器设备进行详细的介绍和说明,确保制备过程的规范性和可重复性。 2.对BZN薄膜的结构和形貌进行全面的表征和分析。 3.对LRC桥法和局部电极法的原理和操作方法进行介绍,并对测量结果进行准确分析。 4.具有一定的计算机操作能力,能够运用Matlab、Origin等软件对数据进行处理和分析。 5.具备较强的团队合作精神和沟通能力。 任务时间: 本项目计划在四个月内完成。 任务成果: 1.BZN薄膜制备流程和工艺说明。 2.BZN薄膜结构和形貌的表征结果报告。 3.BZN薄膜介电可调性能测试和分析报告。 4.对BZN薄膜在微波器件和射频器件方面应用的建议。 参考文献: 1.NanC.W.,etal.Sizeeffectsonferroelectricpropertiesofleadzirconatetitanatethinfilms.AppliedPhysicsLetters,1998,10:1424-1426. 2.LiM.,etal.Preparationandcharacterizationoflead-freeshi-typeceramicswithhighenergystoragedensity.MaterialsLetters,2019,245:1-4. 3.ChenX.,etal.AnovelMEMStunablecapacitorintegratedwithhighlytunableferroelectricthinfilm.MicroelectronicsJournal,2018,79:73-77. 4.HuC.M.,etal.MicrostructureandtunabledielectricpropertiesofBa0.5Sr0.5TiO3thinfilmspreparedbyamodifiedSDCRprocess.CeramicsInternational,2020,46:1701-1705.