磁控溅射法制备钛酸锶铅铁电薄膜及电学性能研究的任务书.docx

磁控溅射法制备钛酸锶铅铁电薄膜及电学性能研究的任务书
任务书
一、项目背景
钛酸锶铅铁电薄膜是一种极具前景的功能材料，具有较高的介电常数、压电常数、铁电留极、电光、磁光等多种性能，在许多领域都有广泛的应用前景，如微电子器件、声波器件、光电器件、存储器件等。由于其具有优异的性能和广泛的应用前景，因此制备钛酸锶铅铁电薄膜的研究也越来越受到学术界和工业界的关注。
目前，制备钛酸锶铅铁电薄膜的方法有很多种，其中磁控溅射法是一种常用的制备方法。磁控溅射法具有工艺简单、成本低、膜质量好等优点，因此在制备钛酸锶铅铁电薄膜方面应用广泛。然而，目前该技术在制备钛酸锶铅铁电薄膜方面的应用还存在一些问题，如晶体结构不完善、薄膜成分不均匀等问题，导致其在某些领域应用受到限制。
因此，本项目旨在利用磁控溅射法制备钛酸锶铅铁电薄膜，并研究其电学性能，希望能解决现有制备方法存在的一些问题，提高钛酸锶铅铁电薄膜的制备效率和质量，并为其在实际应用领域提供有力的支持。
二、项目任务
本项目的主要任务是利用磁控溅射法制备钛酸锶铅铁电薄膜，并研究其电学性能。具体任务如下：
1.确定实验条件
首先需要确定磁控溅射工艺参数，如压力、气体种类、放电功率、衬底温度等，以制备得到具有优异性能的钛酸锶铅铁电薄膜。
2.制备钛酸锶铅铁电薄膜
采用磁控溅射法在特定条件下制备钛酸锶铅铁电薄膜，并对其进行表征。
3.分析钛酸锶铅铁电薄膜的结构和成分
采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜等仪器对制备的薄膜进行表征，分析其结构和成分，判断其晶体结构和成分的均匀度，了解薄膜的物理性能。
4.测试钛酸锶铅铁电薄膜的电学性能
利用电测系统对制备的钛酸锶铅铁电薄膜进行测试，分析其介电常数、压电常数、介电损耗等电学性能，探究制备条件对电学性能的影响。
5.比较不同条件下制备的钛酸锶铅铁电薄膜的性能差异
通过对制备不同条件下的钛酸锶铅铁电薄膜进行比较分析，找出影响钛酸锶铅铁电薄膜性能的因素，寻找改进制备方法的途径，提高钛酸锶铅铁电薄膜的性能和制备效率。
三、预期成果
本项目预期将获得以下成果：
1.确定最佳制备条件
通过一系列实验和比较分析，确定制备钛酸锶铅铁电薄膜最佳的制备条件，并提供相应的实验参数和流程。
2.制备高质量的钛酸锶铅铁电薄膜
通过优化制备条件，制备高质量的钛酸锶铅铁电薄膜，并对其进行多方面的表征和测试，为实际应用提供有力的支持和依据。
3.分析钛酸锶铅铁电薄膜的电学性能
通过对钛酸锶铅铁电薄膜的电学性能进行测试和分析，探究其性能特点和应用前景，并为实际应用提供参考。
4.提供钛酸锶铅铁电薄膜制备的改进方案和方法
通过对不同条件下制备的钛酸锶铅铁电薄膜进行分析比较，找出制备中存在的问题，并提出改进方案和方法，提高钛酸锶铅铁电薄膜制备的效率和质量。
四、项目经费
本项目所需经费为50万元，具体用途如下：
1.设备费用：购买磁控溅射设备、电测系统等实验仪器，共计30万元；
2.材料费用：购买实验所需的钛酸锶铅等制备材料及基底材料，共计10万元；
3.工作人员经费：提供两名博士后研究人员，每人年薪20万元，共计40万元；
4.其他费用：如实验耗材、差旅费等，共计10万元。
五、项目计划
本项目计划为期两年，具体工作计划如下：
第一年：
1.确定磁控溅射工艺参数，制备钛酸锶铅铁电薄膜，分析其表面形貌、晶体结构和成分。
2.测试钛酸锶铅铁电薄膜的电学性能，分析其介电常数、压电常数等电学性能，并找出各项参数对电学性能的影响。
第二年：
1.通过对制备不同条件下的钛酸锶铅铁电薄膜进行比较分析，找出制备中存在的问题，并提出改进方案和方法。
2.利用最佳制备条件再次制备钛酸锶铅铁电薄膜，并对其进行多方面测试，探究其性能特点和应用前景。
3.编写研究报告、发表相关论文，为科技创新和产业技术升级提供支撑。
以上为本项目的任务书，希望能够达到预期成果，为钛酸锶铅铁电薄膜的实际应用做出积极的贡献。