氮化钽薄膜换能元低能化研究.pptx
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氮化钽薄膜换能元低能化研究目录添加章节标题氮化钽薄膜换能元低能化研究的背景和意义氮化钽薄膜换能元的应用领域氮化钽薄膜换能元低能化的重要性研究目的和意义氮化钽薄膜换能元的基本原理和特性氮化钽薄膜换能元的物理性质氮化钽薄膜换能元的声学特性和换能机制氮化钽薄膜换能元的优势和局限性氮化钽薄膜换能元低能化的研究方法和进展研究方法和技术路线实验材料和设备研究进展和成果氮化钽薄膜换能元低能化的关键技术和挑战关键技术分析技术挑战和解决方案未来研究方向和展望氮化钽薄膜换能元低能化的应用前景和价值应用前景和市场分析经济效益和
氮化钽压阻薄膜研究的任务书.docx
氮化钽压阻薄膜研究的任务书任务书一、项目背景在现代电子技术中,压阻材料是一种广泛使用的电子元器件。它具有可靠性强、体积小、重量轻、承载能力高等优点,在电子元器件的设计与生产中起着至关重要的作用。目前在市场上,压阻材料主要分为电阻式和压阻式两种,其中压阻式表现得更为突出。氮化钽是一种绝缘性质好的压阻材料,是在钽靶上用离子束沉积法制备成薄膜的一种压阻薄膜。由于氮化钽有很好的电流承载能力,在一些高压场合具有明显优势。同时,氮化钽的压阻系数(压电系数)也很高,是压阻材料中的佼佼者。因此,氮化钽作为一种压阻材料,已
氮化钽薄膜电阻及其制备方法.pdf
本发明提供一种氮化钽薄膜电阻及其制备方法,通过在同一机台中,采用磁控溅射法形成依次堆叠的氮化钽层及钝化层的复合结构,从而通过钝化层可对氮化钽层进行保护,避免氮化钽层与外界环境接触,以使得氮化钽层具有良好的阻值稳定性;进一步的,当钝化层采用导电层时,通过钝化层即可实现氮化钽层与电极的互连,从而在整个制备工艺中,均可实现钝化层对氮化钽层的覆盖,以有效实现对氮化钽层的保护,以进一步的提高氮化钽层的阻值稳定性,以便制备高稳定性及一致性的氮化钽薄膜电阻。
低能离子注入形成氮化硅薄膜特性的研究.docx
低能离子注入形成氮化硅薄膜特性的研究低能离子注入形成氮化硅薄膜特性的研究摘要:本文主要讨论了通过低能离子注入形成氮化硅薄膜的特性研究。首先介绍了氮化硅的意义和应用,然后阐述了离子注入技术,分析了低能离子注入形成氮化硅薄膜的特点和方法,最后讨论了氮化硅薄膜的表征和特性。正文:一、氮化硅的意义和应用氮化硅是一种特殊的无机化合物,由硅和氮组成,具有优异的力学、光学和电学性能,是一种很有前途的材料,并在光器件、纳米电子学和光伏领域得到了广泛应用。氮化硅具有很高的电学特性和较大的禁带宽度,因此它被广泛应用于制造器件
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介电式AlCuO复合薄膜换能元研究Abstract:DielectricAlCuOcompositethinfilmisapromisingmaterialforenergyconversionapplicationsduetoitsexcellentdielectric,piezoelectric,andsemiconductingproperties.Inthispaper,wepresentacomprehensivereviewoftheresearchontheAlCuOcompositethi