半导体物理第3章ppt课件.ppt
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半导体物理第3章ppt课件.ppt
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半导体物理ppt课件.ppt
半导体物理SemiconductorPhysics第一章半导体中的电子状态§1.1晶体结构预备知识,半导体晶体结构1.晶体结构的描述(有关的名词)§1.1晶体结构预备知识,半导体晶体结构1.晶体结构的描述(有关的名词)§1.1晶体结构预备知识,半导体晶体结构1.晶体结构的描述(有关的名词)§1.1晶体结构预备知识,半导体晶体结构1.晶体结构的描述(有关的名词)§1.1晶体结构预备知识,半导体晶体结构1.晶体结构的描述(有关的名词)原胞和晶胞§1.1晶体结构预备知识,半导体晶体结构2.几种晶格结构§1.1晶
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第六章pn结§6.1pn结及其能带图§6.1.1pn结中的杂质分布§6.1pn结及其能带图§6.1.1pn结中的杂质分布§6.1pn结及其能带图§6.1.1pn结中的杂质分布§6.1pn结及其能带图§6.1.2平衡pn结的形成§6.1pn结及其能带图§6.1.2平衡pn结的形成§6.1pn结及其能带图§6.1.2平衡pn结的形成§6.1pn结及其能带图§6.1.3平衡pn结的能带图§6.1pn结及其能带图§6.1.3平衡pn结的能带图§6.1pn结及其能带图§6.1.3平衡pn结的能带图§6.1pn结及其
半导体物理与器件ppt课件.pdf
课程主要内容固体晶格结构:第一章量子力学:第二章~第三章半导体物理:第四章~第六章半导体器件:第七章~第十三章1绪论什么是半导体按固体的导电能力区分,可以区分为导体、半导体和绝缘体表1.1导体、半导体和绝缘体的电阻率范围材料导体半导体绝缘体电阻率ρ(Ωcm)<10-310-3~109>1092绪论半导体具有一些重要特性,主要包括:温度升高使半导体导电能力增强,电阻率下降如室温附近的纯硅(Si),温度每增加8℃,电阻率相应地降低50%左右微量杂质含量可以显著改变半导体的导电能力以纯硅中每100
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第四章集成电路制造工艺2芯片制造过程图形转换:将设计在掩膜版(类似于照相底片)上的图形转移到衬底上。掺杂:根据设计的需要,将各种杂质掺杂在需要的位置上,形成晶体管、接触等。制膜:制作各种材料的薄膜。硅片准备光刻(Lithography)光刻工艺流程光刻三要素:光刻胶、掩膜版和光刻机–光刻胶又叫光致抗蚀剂,它是由光敏化合物、基体树脂和有机溶剂等混合而成的胶状液体。–光刻胶受到特定波长光线的作用后,导致其化学结构发生变化,使光刻胶在某种特定溶液中的溶解特性改变。正胶(曝光后可溶):分辨率高,在超大规模集成电路