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镍铬硅薄膜电阻层的磁控溅射及湿法刻蚀工艺研究.pptx
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,CONTENTS01.磁控溅射原理溅射材料选择溅射工艺参数溅射薄膜性能02.刻蚀原理刻蚀剂选择刻蚀工艺参数刻蚀薄膜性能03.工艺特点比较薄膜性能比较应用领域比较04.在薄膜电阻中的应用在传感器中的应用在其他电子器件中的应用05.工艺技术发展趋势未来研究方向与展望感谢您的观看！
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