AlGaNGaN HEMT器件结温测量方法与热阻特性的研究的任务书.docx
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AlGaNGaN HEMT器件的工艺制备及接触特性研究的任务书.docx
AlGaNGaNHEMT器件的工艺制备及接触特性研究的任务书任务书一、任务目的本次研究的目的是了解AlGaNGaNHEMT器件的工艺制备和接触特性,通过调节制备过程中的相关参数,来改善器件的性能和提高其稳定性,为相关领域的工程应用提供理论和技术支持。二、研究内容1.综述AlGaNGaNHEMT器件的工艺制备和接触特性的研究现状和进展。2.设计AlGaNGaNHEMT器件的工艺制备方案,包括设计制备工艺流程和确定工艺参数。3.实验制备AlGaNGaNHEMT器件,并对其材料和结构进行表征。比较不同工艺参数下