SiGe沟道三维器件关键集成技术研究进展.pptx
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,目录PartOnePartTwo定义与特性应用领域研究意义PartThree结构设计材料选择制造工艺可靠性分析PartFour国内外研究现状研究成果与突破技术挑战与前景PartFive微电子领域应用传感器领域应用光电子领域应用其他领域应用PartSix新型结构设计研究材料性能优化研究制造工艺改进研究可靠性提升研究THANKS
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