复合分子泵性能计算方法与抽气性能优化的研究的任务书.docx
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复合分子泵性能计算方法与抽气性能优化的研究的任务书.docx
复合分子泵性能计算方法与抽气性能优化的研究的任务书任务书:题目:复合分子泵性能计算方法与抽气性能优化的研究背景:复合分子泵作为高真空抽气器中的一种重要的设备,其抽气速率和极高的真空度使得其在半导体制造、光学薄膜沉积、核延迟时间、航空航天等领域得到广泛应用。由于复合分子泵的内部机理复杂,其性能的计算和抽气性能的优化是当前需要研究的问题。研究目标:本研究的目标是开发一种有效的复合分子泵性能计算方法,并通过优化抽气参数和材料的选择来提高其抽气性能。研究内容:1.复合分子泵的内部机理和性能特点的研究2.建立适合复
复合分子泵性能计算方法与抽气性能优化的研究的开题报告.docx
复合分子泵性能计算方法与抽气性能优化的研究的开题报告尊敬的导师和评审委员会:本文题目为《复合分子泵性能计算方法与抽气性能优化的研究》。本文旨在通过理论模拟和实验探究,深入研究复合分子泵的性能计算方法以及抽气性能优化。一、研究背景复合分子泵是一种高效率的分子泵,由于其操作压力范围广、腔压低、抽气速度快、使用寿命长等特点,在现代制造过程中得到广泛应用。但是,复合分子泵仍存在一些性能和操作方面的问题,如气体反吸和极高的工作温度,限制了它在跨学科领域的深入应用。因此,建立复合分子泵的性能计算模型,研究抽气过程中的
高性能复合分子泵.pdf
本发明公开了一种高性能复合分子泵,包括泵壳、转子体、底盘、油池座等,转子体与电机主轴固定连接,该分子泵自进气口至排气口由涡轮叶片级与筒式牵引级串联而成;涡轮叶片级包括设于转子体上的涡轮动叶片和设于隔离环上的涡轮静叶片;筒式牵引级包括设于转子体与牵引级定子之间的螺旋导流槽;隔离环和牵引级定子固定于所述泵壳上。可以同时兼备大抽速和高压缩比,并具有较强的前级抗压能力,可获得高真空与超高真空。
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基于DSMC方法的涡轮分子泵跨流态抽气性能研究基于DSMC方法的涡轮分子泵跨流态抽气性能研究摘要:涡轮分子泵是一种常用的高真空抽气装置,具有体积小、轻量化、高抽速等特点,被广泛应用于航空航天、真空冶金等领域。本研究基于DSMC(DirectSimulationMonteCarlo)方法,对涡轮分子泵在跨流态工况下的抽气性能进行了研究。通过建立跨流态模型并进行数值模拟,探究了跨流态对涡轮分子泵抽气性能的影响,为进一步优化涡轮分子泵的设计和性能提供了理论依据。关键词:涡轮分子泵,跨流态,DSMC方法,抽气性能
关于膜片式电子真空泵抽气性能计算的研究.docx
关于膜片式电子真空泵抽气性能计算的研究标题:膜片式电子真空泵抽气性能计算的研究摘要:膜片式电子真空泵是一种常用于空气或气体抽取的设备,具有结构紧凑、体积小、噪音低等优点。本文旨在研究膜片式电子真空泵的抽气性能计算方法,通过理论分析和实验验证,提出了一种有效的计算模型,并对模型进行了优化和验证。1.引言膜片式电子真空泵是一种利用电子和磁场相互作用产生的气体分子运动来实现抽气的装置。由于其结构简单、使用方便且体积小,广泛应用于科研领域、医疗器械和工业生产中。2.膜片式电子真空泵的工作原理膜片式电子真空泵通过电