碲锌镉晶片表面精密抛光系统研究.pptx
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汇报人:目录PARTONEPARTTWO抛光系统的定义和作用抛光系统的组成和原理抛光系统的应用和发展趋势PARTTHREE抛光材料的选择抛光液的配制与使用抛光工艺参数的优化表面粗糙度的检测与控制PARTFOUR抛光机的设计抛光磨具的设计与制作抛光液循环系统的设计自动化控制系统的设计PARTFIVE实验材料与方法实验结果与数据分析结果讨论与比较分析实验结论与建议PARTSIX研究成果总结对未来研究的建议与展望THANKYOU
碲锌镉晶片表面精密抛光系统研究.docx
碲锌镉晶片表面精密抛光系统研究碲锌镉晶片表面精密抛光系统研究摘要:碲锌镉(CZT)晶片是一种重要的半导体材料,在能量转换、辐射探测、光电子学等领域有着广泛的应用。然而,CZT晶片的表面质量对其性能具有重要影响。本论文针对CZT晶片表面精密抛光系统进行了研究,通过对抛光参数、抛光剂组成和工艺等方面进行优化,提升了CZT晶片的表面质量,为其广泛应用提供了有力的支持。1.引言CZT晶片是一种III-V族化合物半导体材料,具有较高的能带隙、大的电子迁移率和较小的截止频率等优点,因此在能量转换、辐射探测和光电子学等
一种碲锌镉晶片的抛光工艺.pdf
一种碲锌镉晶片的抛光工艺,包括以下步骤:研磨:选用磨砂膨化玻璃盘对碲锌镉晶体进行研磨;铣磨:铣磨机的磨轮旋转并去除晶片的表面损伤层,控制去除量为80μm‑150μm,表面粗糙度≤20nm,铣磨过程中在晶片和磨轮之间喷淋冷却水,加工完成后传递至抛光工序;化学机械抛光:将承载盘表面设置为由盘中间向盘圆周逐渐降低的倾斜形状,倾斜角度为2±0.5度,将碲锌镉晶片放置在承载盘上,化学机械抛光的过程中加入pH值为9‑11的抛光液,控制研磨头的转速为:3‑20r/min,压力为2‑10N/cm
非规则碲锌镉晶片的研磨方法.pdf
本发明公开了一种非规则碲锌镉晶片的研磨方法,非规则碲锌镉晶片的研磨方法包括:配置研磨液,并将研磨液导入双面研磨机内以用于研磨非规则碲锌镉晶片;将至少一片非规则碲锌镉晶片均匀排布至双面研磨机的上研磨盘与下研磨盘之间的至少一个游轮片上;设置双面研磨机的设备参数,启动双面研磨机,以实现对至少一片非规则碲锌镉晶片的双面研磨。采用本发明,可以同时对多片非规则碲锌镉晶片进行双面研磨,大大的提高了非规则碲锌镉晶片研磨效率,而且能够有效解决非规则碲锌镉晶片在游离态下撞击产生崩边和裂片的问题,使得碲锌镉晶片研磨后的表面平整
异形碲锌镉晶片轮廓修磨倒角方法.pdf
本发明公开了一种异形碲锌镉晶片轮廓修磨倒角方法,在异形碲锌镉晶片修磨倒角工艺过程中存在的研磨工序耗时长和生产效率低的技术问题。本发明通过大量工艺试验,得到研磨碲锌镉晶片的进给量与崩边长度的关系,从而求取一个最优解,在研磨外圈的时候,每次进给量1.5毫米,研磨中间两圈的时候每次进给0.8毫米,研磨最内两圈的时候每次进给0.5毫米,这样就可以减少研磨的圈数,提高研磨效率;在研磨每一圈的时候,通过视觉系统进行分析处理,计算出砂轮与产品哪些地方能够接触,哪些地方不能够接触,不能够接触到的地方就控制研磨系统快速旋转