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汇报人:/目录01PECVD工艺原理管式PECVD设备结构管式PECVD工艺特点02颜色均匀性对太阳电池性能的影响颜色均匀性对太阳电池外观的影响太阳电池镀膜颜色均匀性的评价方法03管式PECVD工艺参数对颜色均匀性的影响管式PECVD工艺中颜色均匀性的变化规律管式PECVD工艺对太阳电池性能的影响04优化管式PECVD工艺参数改进管式PECVD设备结构引入新的镀膜技术05管式PECVD工艺对太阳电池镀膜颜色均匀性的影响总结对未来研究的展望汇报人: