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基于MEMS工艺的硅基毫米波微同轴波导芯片.pptx

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汇报人：/目录0102MEMS工艺的基本原理MEMS工艺的特点和优势MEMS工艺的应用领域03硅基毫米波微同轴波导芯片的基本原理硅基毫米波微同轴波导芯片的特点和优势硅基毫米波微同轴波导芯片的应用场景04设计原理及流程制造工艺流程关键工艺参数芯片版图绘制与优化05测试系统搭建测试设备：微波测试系统、信号源、功率计、频谱分析仪等 测试环境：无电磁干扰、温度稳定、湿度适宜的实验室环境 测试步骤：a.连接测试设备，设置测试参数b.启动测试系统，进行信号源输出c.测量芯片的传输特性，包括频率、功率、相位等d.分析测试结果，评估芯片的性能指标 a.连接测试设备，设置测试参数 b.启动测试系统，进行信号源输出 c.测量芯片的传输特性，包括频率、功率、相位等 d.分析测试结果，评估芯片的性能指标 测试结果：根据测试数据，分析芯片的性能指标，如传输损耗、隔离度、带宽等，评估芯片的性能优劣。测试结果分析性能优化方案06应用前景展望技术挑战与难点未来发展方向与趋势汇报人：