预览加载中，请您耐心等待几秒...

硅微MEMS加工工艺.ppt

预览
1/10
2/10
3/10
4/10
5/10
6/10
7/10
8/10
9/10
10/10

亲，该文档总共26页，到这已经超出免费预览范围，如果喜欢就直接下载吧～

下载提示 文本预览

如果您无法下载资料，请参考说明：

1、部分资料下载需要金币，请确保您的账户上有足够的金币

2、已购买过的文档，再次下载不重复扣费

3、资料包下载后请先用软件解压，在使用对应软件打开

硅微MEMS加工工艺硅微MEMS发展里程碑硅微MEMS工艺发展趋势硅微MEMS工艺主要手段MEMS与IC工艺主要差别典型硅微MEMS工艺体硅各向异性腐蚀技术体硅各向异性腐蚀各向异性腐蚀计算各向异性腐蚀液EPW腐蚀条件腐蚀设备影响腐蚀质量因素牺牲层技术影响牺牲层腐蚀的因素典型牺牲层腐蚀工艺自停止腐蚀技术自停止腐蚀典型工艺流程双面光刻双面光刻制版问题双面光刻制版问题针孔问题凸角腐蚀补偿凸角腐蚀补偿凸角腐蚀补偿MEMS基本结构加工工艺