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应变Si载流子散射机制及特性研究的任务书
任务书
任务名称：应变Si载流子散射机制及特性研究
任务来源：电子信息工程专业研究生学位论文
任务负责人：XXX
任务介绍
随着半导体工艺的不断发展，芯片上的电子元件逐渐缩小，而在如今的科技领域，Si材料仍然是集成电路最重要的材料之一。Si材料具有优良的电学性能和机械特性，在集成电路中广泛应用。但是，在高集成度的LSI中，Si材料因存在应变效应而影响其电学性能，成为一种难以避免的问题。因此，本任务旨在深入研究应变Si材料的载流子散射机制及其特性，以期为解决该材料在集成电路中的应用问题提供有力支持。
任务目标
1、研究应变Si材料的载流子散射机制：采用实验室内自行搭建的高功率激光器系统，利用精密测量装置对不同应变Si材料中载流子散射率进行测量，并分析散射的机制，探究应变对散射机制的影响。
2、研究应变Si材料的电学特性：利用掺杂技术对不同应变Si材料进行掺杂，测量其导电性能，分析应变对导电性能的影响，研究其电学特性和机械特性间的关系。
3、分析应变Si材料在集成电路中的应用：从载流子散射机制和电学特性两个方面出发，分析应变Si材料在集成电路中的应用优势和不足之处，提出改进意见。
任务方案
1、采用高功率激光器系统测量不同应变Si材料中载流子的散射率，对散射机制进行分析；
2、通过掺杂技术控制不同应变Si材料的掺杂浓度，测量其导电性能，分析其电学特性和机械特性的关系；
3、分析应变Si材料在集成电路中的应用，提出改进意见；
4、编写论文，撰写课题的研究过程、发现和结论。
任务时间节点
1、2022年3月至6月：开展应变Si材料的载流子散射机制及特性研究，协调激光器系统的研制和实验室的使用，完成机制研究的实验；
2、2022年7月至9月：进一步完善实验过程，探究不同掺杂浓度下应变Si材料的电学特性；
3、2022年10月至12月：分析应变Si材料在集成电路中的应用，提出改进意见；
4、2023年1月至3月：完成论文的写作、修改和校对。
任务经费
该研究需要购置高功率激光器系统、精密测量装置和其他相关实验设备，预计需要经费50万元，由课题负责人申请。经费来源为学院经费和研究生招生名额收入。
任务评估指标
1、论文质量：论文的综述与研究思路是否清晰，实验数据是否准确可靠，论文结论是否合理严谨。
2、实验能力：能否熟练操作相关实验设备，准确记录实验数据，对实验结果进行合理分析和解释。
3、解决问题能力：能否准确鉴定应变Si材料的散射机制和电学特性，提出解决问题的建议和改进措施。
总评分由导师和评委根据以上评估指标综合决定，成果达到规定指标的学生可通过论文答辩并获得学位证书。