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ITO薄膜晶体管的制备及其性能研究的任务书
任务书
任务名称：ITO薄膜晶体管的制备及其性能研究
任务背景：
随着现代电子技术以及信息技术的飞速发展，对材料与器件的要求也不断提高。因此，新型的材料和器件的研究与应用日益成为了一个热点话题。ITO薄膜晶体管是一种新型的器件，具有导电性能稳定、制备工艺简单、透光性强等优点，在液晶显示器等领域具有广泛的应用前景。因此，探究ITO薄膜晶体管的制备及其性能对于推动现代电子信息技术的发展具有重要的意义。
任务目标：
1.研究ITO薄膜的制备工艺及改性方法，探究制备高质量ITO薄膜的相关因素。
2.制备ITO薄膜晶体管，并研究其电学性能和光学性能。
3.对ITO薄膜晶体管的性能进行评价，分析其在液晶显示器等领域的应用前景。
任务实施方案：
1.研究ITO薄膜的制备工艺及改性方法，探究制备高质量ITO薄膜的相关因素。
1.1研究ITO薄膜的制备工艺
从氧化物混合物中制备出ITO薄膜的过程，大致可分为两个步骤：1)制备ITO混合物；2)在适宜的气氛和温度条件下制备ITO薄膜。本研究将通过对ITO混合物的制备过程和ITO薄膜制备过程的改进，探究影响ITO薄膜质量的关键因素。
1.2制备高质量ITO薄膜的相关因素
在ITO薄膜制备过程中，薄膜性能受制备条件的影响较大。因此，本研究将通过改变制备条件（如制备气氛、温度、压力、时间等）探究影响ITO薄膜质量的关键因素。
2.制备ITO薄膜晶体管，并研究其电学性能和光学性能。
2.1制备ITO薄膜晶体管
本研究将采用沉积法制备ITO薄膜晶体管。对采用不同工艺参数制备的ITO薄膜晶体管进行电学和光学性能测试，比较不同工艺参数对ITO薄膜晶体管性能的影响。
2.2测试ITO薄膜晶体管的电学性能和光学性能
通过测试ITO薄膜晶体管的电学性能和光学性能（如导电性能、透过率、光学带隙等），探究ITO薄膜晶体管的性能特点。
3.对ITO薄膜晶体管的性能进行评价，分析其在液晶显示器等领域的应用前景。
3.1对ITO薄膜晶体管的性能进行评价
通过测试ITO薄膜晶体管的电学性能和光学性能，综合分析探究其性能特点。
3.2分析ITO薄膜晶体管在液晶显示器等领域的应用前景
基于ITO薄膜晶体管的性能特点，结合液晶显示器等领域的应用需求，探究ITO薄膜晶体管在这些领域的应用前景。
任务进度安排：
1.5个月：研究ITO薄膜的制备工艺及改性方法。
2.4个月：制备ITO薄膜晶体管，并研究其电学性能和光学性能。
3.2个月：对ITO薄膜晶体管的性能进行评价，分析其在液晶显示器等领域的应用前景。
参考文献：
1.张文斌.ITO透明导电薄膜的制备与研究[D].复旦大学,2011.
2.李智博,朱胜利,赵巧蓉.ITO材料在大显示器中的应用研究[J].中国光学,2013,6:12-14.
3.王玉.ITO透明导电薄膜的研究现状及制备技术的研究[D].西北大学,2010.