基于晶粒尺寸可控的ITO陶瓷靶材制备及机理研究的开题报告.docx
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基于晶粒尺寸可控的ITO陶瓷靶材制备及机理研究的开题报告.docx
基于晶粒尺寸可控的ITO陶瓷靶材制备及机理研究的开题报告摘要ITO陶瓷靶材受到了广泛的应用,用于生产透明导电膜等领域。本研究旨在探究基于晶粒尺寸可控的ITO陶瓷靶材的制备及机理。首先介绍了ITO陶瓷靶材的应用和研究现状,然后通过文献调研和实验设计,阐述了基于晶粒尺寸可控的ITO陶瓷靶材的制备方法和研究机理。研究表明,通过控制反应温度、时间、反应物浓度等条件,可以实现ITO陶瓷靶材晶粒尺寸的可控制备。所得结果为ITO陶瓷靶材的生产和应用提供了有力的支持。关键词:ITO;陶瓷靶材;晶粒尺寸可控;制备;机理1.
ITO靶材的制备及其性能研究的中期报告.docx
ITO靶材的制备及其性能研究的中期报告本中期报告主要介绍了ITO靶材的制备过程以及在电子、光学和热学性能方面的研究成果。1.ITO靶材的制备采用溅射法制备ITO靶材,采用电子束蒸发法(EBE)进行蒸发沉积。制备过程中通过不同的制备条件(如温度、氧流量、沉积速率等)对ITO靶材的沉积进行优化,获得了优秀的沉积质量。2.ITO靶材的电子性能在电子性能方面,通过对ITO靶材的导电率、霍尔系数等参数进行测试,发现ITO靶材的导电率高达4.26×10^4S/cm,霍尔系数为-2.6×10^-3cm^3/C,表明IT
ITO靶材的制备及其性能研究的综述报告.docx
ITO靶材的制备及其性能研究的综述报告ITO(IndiumTinOxide)是一种具有透明导电性的材料,广泛应用于显示器、太阳能电池等领域。本文将介绍ITO靶材的制备方法、性能特点及其应用研究进展。一、ITO靶材的制备方法(1)物理法制备ITO靶材:物理法制备ITO靶材的方法包括磁控溅射、电子束蒸发、脉冲激光沉积、激光脉冲热氧化等。其中磁控溅射是最常见的一种制备方法。其工艺流程为:将纯的ITO靶材放置在反应室的阴极表面,引入氩气等惰性气体并加以放电,产生的离子束轰击靶材表面,使得靶材表面的原子被剥离,然后
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一种大尺寸高密度细晶粒ITO靶材的常压烧结制造方法.pdf
本发明公开了一种大尺寸高密度细晶粒ITO靶材的常压烧结制造方法,其包括以下步骤:1)将纯度大于99.99%的ITO粉体,依次经模压处理及冷等静压处理后,得到ITO素坯;2)将ITO素坯进行脱脂处理后,对ITO素坯进行抽真空并向素坯孔隙中填充氧气处理;3)步骤2)中经抽真空及充氧处理后的素坯在常压通氧气氛下进行常压烧结处理,即得所述的ITO靶材。本发明通过对ITO素坯进行抽真空、并向素坯的孔隙中充入氧气,使得在常压氧气氛烧结过程中,素坯孔隙中的氧以及炉膛中的氧共同抑制了ITO在烧结过程中的分解及挥发,从而以