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真空镀膜机的设计.pptx

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会计学8.1真空设备设计原则镀膜机常用技术指标8.2真空镀膜机的分类——按作业方式划分真空镀膜机的构成8.3真空室与机架-------1结构布置钟罩式（垂直提升，有机架、台面） 扁箱式（平板形基片）如立卧或平卧、周期或连续式、平板玻璃镀膜机 方箱式前开门 圆筒式前开门，蚌壳炉（门大，可装大工件）。 盒式长方形圆形上揭盖（垂直提升，有机架、台面） 球形适于化学气相合成，可接许多接口（分析仪器），并都对准中心8.3真空室与机架-------3功能作用与要求8.3真空室与机架-------4构成与附件8.3真空室与机架-------4构成与附件8.3真空室与机架-------4构成与附件8.4工件架-------1功能作用与要求8.4工件架-------2结构形式8.4工件架-------2结构形式8.4工件架-------4驱动机构8.4工件架-------5挡板机构8.4工件架-------6设计要求8.5靶的布置形式8.6真空系统8.7供电系统8.8测量与控制系统8.9水冷系统-------1要求水冷的部位 散热功率（W） 水流量（Kg/s） 比热c—J/（kg。K） 温度t—K8.9水冷系统-------3水流设计8.9水冷系统-------4元器件与构成8.9水冷系统-------5注意事项8.10气体充入与分配系统8.11其它辅助系统