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高质量ZnO基透明导电薄膜的制备及其特性研究的中期报告
本次研究的目的是制备高质量的ZnO基透明导电薄膜，并研究其特性，为开发透明导电材料提供基础研究支持。
一、制备方法
采用溶胶-凝胶法制备ZnO基透明导电薄膜。具体步骤如下：
1.制备溶胶：将Zn（NO3）2·6H2O和乙醇按1：10质量比进行混合，搅拌均匀，加入少量HNO3和DI水，再搅拌30min，最后过滤得到透明的溶胶。
2.制备基板：选用Si基板，并使用玻璃切割机将其切成1cm×1cm的大小。
3.涂覆溶胶：将制得的溶胶均匀涂覆在基板表面，形成0.5μm左右的ZnO薄膜，并在室温下干燥24h。
4.烧结：将干燥后的样品置于炉中，升温至500℃，恒温5h，使溶胶中的物质充分热化，形成ZnO晶体，完成烧结过程。
二、结果分析
通过扫描电镜（SEM）观察样品表面形貌，得知ZnO薄膜表面平整光滑，并且具有微米级别的结构，烧结后的晶体质量较好，表现出良好的结晶性。
透射电镜（TEM）进一步证明了样品的结构，可以看到ZnO晶体在样品中分布均匀，结晶度高，晶粒尺寸在50~100nm范围内。
X射线衍射（XRD）分析证明样品晶体为wurtzite型ZnO结构，相应峰位在34.4°，38.2°和62.8°。同时，透过率测试发现ZnO薄膜在400~800nm波长范围内的透过率达到80%以上，表现出良好的透明性能。
三、结论
本研究成功制备出高质量的ZnO基透明导电薄膜，并具有良好的透明性能和结晶性，可为透明导电材料的开发提供基础研究支持。下一步将对其导电性能进行测试和分析。