基于液压机构的液动压悬浮抛光装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN105397573A(43)申请公布日2016.03.16(21)申请号201510906340.5B24B49/00(2012.01)(22)申请日2015.12.09(71)申请人浙江工业大学地址310014浙江省杭州市下城区朝晖六区潮王路18号(72)发明人文东辉章少杰蔡东海王扬渝孙白冰(74)专利代理机构杭州浙科专利事务所(普通合伙)33213代理人吴秉中(51)Int.Cl.B24B1/00(2006.01)B24B55/00(2006.01)B24B47/12(2006.01)B24B41/00(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图3页(54)发明名称基于液压机构的液动压悬浮抛光装置(57)摘要基于液压机构的液动压悬浮抛光装置，包括升降部件和抛光部件，升降部件包括底座、滚动导轨、滑动轴套、滚珠丝杠、联轴器、中间支撑板、上盖板以及步进电机，抛光部件包括抛光工具盘、抛光液容器、第二联轴器、滚珠花键轴、固定板、导柱、动板、微型液压缸、液压泵、带轮、同步带和伺服电机。本发明的优点是：采用液压机构克服了抛光部件的自重，实现了抛光过程中液动压使抛光盘悬浮的目的，采用了抛光液浸没抛光工具和工件的浸液环境，有利于降低抛光过程中摩擦热带来的负面作用，伺服电机通过带轮直接驱动抛光工具盘，避免了复杂的传动环节造成的误差积累，提高了加工精度。CN105397573ACN105397573A权利要求书1/1页1.基于液压机构的液动压悬浮抛光装置，其特征在于：包括升降部件和抛光部件，所述升降部件包括底座(1)、滚动导轨(2)、滑动轴套(4)、滚珠丝杠(14)、联轴器、中间支撑板(3)、上盖板(5)以及步进电机(6)，所述底座(1)和上盖板(5)之间通过四根滑动导轨进行支撑，四个滑动轴套(4)套装在四根滑动导轨上，所述中间支撑板(3)与四个滑动轴套(4)固定连接；所述中间支撑板(3)上设有丝杠螺母，与所述丝杠螺母相配合的滚珠丝杠(14)穿过所述中间支撑板(3)，且滚珠丝杠(14)的上下两端分别通过轴承固定在上盖板(5)和底座(1)上，滚珠丝杠(14)的上端连接步进电机(6)，步进电机(6)安装在上盖板(5)上，步进电机(6)转动时驱动滚珠丝杠(14)转动从而带动中间支撑板(3)沿四根滑动导轨上下滑动；所述抛光部件包括抛光工具盘(13)、抛光液容器(15)、第二联轴器(20)、滚珠花键轴(21)、固定板(8)、导柱(9)、动板(10)、微型液压缸(11)、液压泵(12)、带轮(16)、同步带(17)和伺服电机(19)，滚珠花键轴(21)与穿过动板(10)并通过第二联轴器(20)与抛光工具盘(13)连接，滚珠花键轴(21)的上端固定在动板(10)上；固定板(8)固定在中间支撑板(3)上，且动板(10)和支撑板之间设有四根竖直安装的导柱(9)，动板(10)套装在所述导柱(9)上且能沿所述导柱(9)上下运动；所述伺服电机(19)固定在中间支撑板(3)上，带轮(16)安装在滚轴花键轴上，带轮(16)通过同步带(17)连接伺服电机(19)，所述伺服电机(19)通过同步带(17)驱动带轮(16)，将动力传递给滚珠花键轴(21)，并带动抛光工具盘(13)的高速转动；所述中间支撑板(3)上还设有微型液压缸(11)和液压泵(12)，液压泵(12)通过油管与微型液压缸(11)连接，微型液压缸(11)的气缸头与动板(10)固定连接，液压泵(12)通过控制微型液压缸(11)的运动克服动板(10)、滚珠花键轴(21)和抛光工具盘(13)在抛光时的自重；所述抛光液容器(15)设在所述抛光工具盘(13)正下方的底座(1)上。2.如权利要求1所述的基于液压机构的液动压悬浮抛光装置，其特征在于：所述步进电机(6)通过第一联轴器(7)与滚珠丝杠(14)连接。3.如权利要求1所述的基于液压机构的液动压悬浮抛光装置，其特征在于：所述伺服电机(19)通过电机座(18)固定在中间支撑板(3)上。4.如权利要求1所述基于液压机构的液动压悬浮抛光装置，其特征在于：所述滚珠花键轴(21)的上端还设有测力传感器(22)。5.如权利要求1所述基于液压机构的液动压悬浮抛光装置，其特征在于：所述第二联轴器(20)为双膜片联轴器。2CN105397573A说明书1/3页基于液压机构的液动压悬浮抛光装置技术领域[0001]本发明涉及抛光领域，提出了一种基于液压机构的液动压悬浮抛光装置，主要应用于机械、光学、电子等领域。背景技术[0002]超精密加工是获得高形状精度、表面精度和表面完整性的必要手段。随着对产品质量和多样化的要求日益提高，对超精密加工提出了更多、更高的要求。超精密抛光是目前最主要的终加工手段。[0003]目前，